ไซเลน (SiH4)

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิคอนและไฮโดรเจน เป็นคำทั่วไปสำหรับชุดสารประกอบ รวมถึงโมโนไซเลน (SiH4), ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอนไฮโดรเจนในระดับที่สูงกว่าบางชนิด ในหมู่พวกเขา monosilane เป็นเรื่องธรรมดาที่สุดบางครั้งเรียกว่าไซเลนสั้น ๆ ไซเลนเป็นก๊าซไม่มีสีมีกลิ่นกระเทียมที่น่าขยะแขยง ละลายได้ในน้ำ แทบไม่ละลายในเอทานอล อีเทอร์ เบนซีน คลอโรฟอร์ม ซิลิคอนคลอโรฟอร์ม และซิลิคอนเตตราคลอไรด์ คุณสมบัติทางเคมีของไซเลนมีความว่องไวมากกว่าอัลเคนและออกซิไดซ์ได้ง่าย การเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองสามารถเกิดขึ้นได้เมื่อสัมผัสกับอากาศ. ไม่ทำปฏิกิริยากับไนโตรเจนที่อุณหภูมิต่ำกว่า 25°C และไม่ทำปฏิกิริยากับสารประกอบไฮโดรคาร์บอนที่อุณหภูมิห้อง ไฟและการระเบิดของไซเลนเป็นผลมาจากปฏิกิริยากับออกซิเจน ไซเลนมีความไวต่อออกซิเจนและอากาศอย่างมาก ไซเลนที่มีความเข้มข้นระดับหนึ่งจะทำปฏิกิริยาระเบิดกับออกซิเจนที่อุณหภูมิ -180°C ไซเลนกลายเป็นก๊าซพิเศษที่สำคัญที่สุดที่ใช้ในกระบวนการไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของเซมิคอนดักเตอร์ และใช้ในการเตรียมฟิล์มไมโครอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ รวมถึงฟิล์มผลึกเดี่ยว ไมโครคริสตัลไลน์ โพลีคริสตัลไลน์ ซิลิคอนออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และซิลิไซด์ของโลหะ การใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของไซเลนยังคงพัฒนาในเชิงลึก: เอพิแทกซีที่อุณหภูมิต่ำ, เอพิแทกซีแบบเลือกสรร และเอพิแทกซีแบบเฮเทอโรอีพิแทกเซียล ไม่เพียงแต่สำหรับอุปกรณ์ซิลิคอนและวงจรรวมของซิลิคอนเท่านั้น แต่ยังสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์แบบผสมด้วย (แกลเลียมอาร์เซไนด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ฯลฯ) นอกจากนี้ยังมีการใช้งานในการเตรียมวัสดุหลุมควอนตัมซุปเปอร์แลตทิซ อาจกล่าวได้ว่าไซเลนถูกนำมาใช้ในสายการผลิตวงจรรวมขั้นสูงเกือบทั้งหมดในยุคปัจจุบัน การใช้ไซเลนเป็นฟิล์มและสารเคลือบที่มีซิลิคอนได้ขยายจากอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบดั้งเดิมไปสู่สาขาต่างๆ เช่น เหล็ก เครื่องจักร เคมีภัณฑ์ และทัศนศาสตร์ การใช้งานไซเลนที่มีศักยภาพอีกประการหนึ่งคือการผลิตชิ้นส่วนเครื่องยนต์เซรามิกประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งการใช้ไซเลนในการผลิตซิลิไซด์ (Si3N4, SiC ฯลฯ) เทคโนโลยีไมโครผงได้ดึงดูดความสนใจมากขึ้นเรื่อยๆ

แอปพลิเคชัน:

1.อิเล็กทรอนิกส์:

ไซเลนถูกนำไปใช้กับชั้นซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์บนเวเฟอร์ซิลิคอนเมื่อผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสารเคลือบหลุมร่องฟัน

②พลังงานแสงอาทิตย์:

ไซเลนใช้ในการผลิตโมดูลเซลล์แสงอาทิตย์

3.อุตสาหกรรม:

มันถูกใช้ในกระจกสีเขียวประหยัดพลังงานและนำไปใช้กับกระบวนการฟิล์มบางสะสมไอ

แพคเกจปกติ:

ข้อได้เปรียบ:

①มากกว่าสิบปีในตลาด

②ผู้ผลิตใบรับรอง ISO;

3.จัดส่งที่รวดเร็ว;

④แหล่งวัตถุดิบที่มั่นคง

⑤ระบบวิเคราะห์ออนไลน์เพื่อการควบคุมคุณภาพในทุกขั้นตอน

⑥ความต้องการสูงและกระบวนการที่พิถีพิถันในการจัดการกระบอกสูบก่อนบรรจุ

⑦ความบริสุทธิ์: เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

⑧การใช้งาน: วัสดุเซลล์แสงอาทิตย์ ทำโพลีซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง ซิลิคอนออกไซด์ และใยแก้วนำแสง การผลิตกระจกสี