ไซเลน (SiH4)

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิคอนและไฮโดรเจน เป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกสารประกอบหลายชนิด ได้แก่ โมโนไซเลน (SiH4), ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอน-ไฮโดรเจนระดับสูงบางชนิด โมโนไซเลนเป็นสารประกอบที่พบมากที่สุด บางครั้งเรียกสั้นๆ ว่า ไซเลน ไซเลนเป็นก๊าซไม่มีสี มีกลิ่นกระเทียมเหม็น ละลายน้ำได้ แทบไม่ละลายในเอทานอล อีเทอร์ เบนซีน คลอโรฟอร์ม ซิลิคอนคลอโรฟอร์ม และซิลิคอนเตตระคลอไรด์ ไซเลนมีคุณสมบัติทางเคมีที่ไวกว่าแอลเคนมากและสามารถออกซิไดซ์ได้ง่าย การเผาไหม้เองสามารถเกิดขึ้นได้เมื่อสัมผัสกับอากาศ ไซเลนไม่ทำปฏิกิริยากับไนโตรเจนที่อุณหภูมิต่ำกว่า 25°C และไม่ทำปฏิกิริยากับสารประกอบไฮโดรคาร์บอนที่อุณหภูมิห้อง การเกิดไฟไหม้และการระเบิดของไซเลนเป็นผลมาจากปฏิกิริยากับออกซิเจน ไซเลนมีความไวต่อออกซิเจนและอากาศอย่างมาก ไซเลนที่มีความเข้มข้นที่แน่นอนจะทำปฏิกิริยากับออกซิเจนอย่างระเบิดได้ที่อุณหภูมิ -180°C ไซเลนกลายเป็นก๊าซพิเศษที่สำคัญที่สุดที่ใช้ในกระบวนการผลิตไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของสารกึ่งตัวนำ และถูกนำมาใช้ในการเตรียมฟิล์มไมโครอิเล็กทรอนิกส์หลากหลายชนิด ได้แก่ ฟิล์มผลึกเดี่ยว ไมโครคริสตัลไลน์ โพลีคริสตัลไลน์ ซิลิคอนออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และโลหะซิลิไซด์ การประยุกต์ใช้ไซเลนในระดับไมโครอิเล็กทรอนิกส์ยังคงพัฒนาอย่างลึกซึ้ง ได้แก่ เอพิแทกซีอุณหภูมิต่ำ เอพิแทกซีแบบเลือกเฉพาะ และเอพิแทกซีเฮเทอโรเอพิแทกซี ไม่เพียงแต่สำหรับอุปกรณ์ซิลิคอนและวงจรรวมซิลิคอนเท่านั้น แต่ยังรวมถึงอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบผสม (แกลเลียมอาร์เซไนด์ ซิลิคอนคาร์ไบด์ ฯลฯ) ไซเลนยังถูกนำไปใช้ในการเตรียมวัสดุควอนตัมเวลล์แบบซูเปอร์แลตทิซ กล่าวได้ว่าไซเลนถูกนำมาใช้ในสายการผลิตวงจรรวมขั้นสูงเกือบทุกสายในปัจจุบัน การประยุกต์ใช้ไซเลนในฐานะฟิล์มและสารเคลือบที่ประกอบด้วยซิลิคอนได้ขยายขอบเขตจากอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบดั้งเดิมไปสู่สาขาต่างๆ เช่น เหล็ก เครื่องจักร เคมีภัณฑ์ และออปติก การประยุกต์ใช้ไซเลนที่มีศักยภาพอีกประการหนึ่งคือการผลิตชิ้นส่วนเครื่องยนต์เซรามิกสมรรถนะสูง โดยเฉพาะการใช้ไซเลนในการผลิตซิลิไซด์ (Si3N4, SiC เป็นต้น) เทคโนโลยีผงไมโครได้รับความสนใจเพิ่มมากขึ้นเรื่อยๆ

แอปพลิเคชัน:

①อิเล็กทรอนิกส์:

ไซเลนถูกนำไปใช้กับชั้นซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์บนเวเฟอร์ซิลิคอนในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสารปิดผนึก

②พลังงานแสงอาทิตย์:

ไซเลนใช้ในการผลิตโมดูลโฟโตวอลตาอิคส์พลังงานแสงอาทิตย์

③อุตสาหกรรม:

ใช้ในกระจกสีเขียวประหยัดพลังงานและนำไปใช้ในกระบวนการฟิล์มบางการสะสมไอ

แพ็คเกจปกติ:

ข้อได้เปรียบ:

①อยู่ในตลาดมากกว่าสิบปี

②ผู้ผลิตมีใบรับรอง ISO;

③การจัดส่งรวดเร็ว;

④แหล่งวัตถุดิบที่มั่นคง

⑤ระบบวิเคราะห์ออนไลน์เพื่อการควบคุมคุณภาพทุกขั้นตอน

⑥ความต้องการสูงและกระบวนการที่พิถีพิถันในการจัดการถังก่อนการบรรจุ

⑦ความบริสุทธิ์: เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

⑧การใช้งาน: วัสดุเซลล์แสงอาทิตย์ การผลิตโพลีซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง ซิลิกอนออกไซด์ และใยแก้วนำแสง การผลิตกระจกสี