ไซเลน (SiH4)

พารามิเตอร์ทางเทคนิค

ไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิกอนและไฮโดรเจนเป็นคำทั่วไปสำหรับชุดของสารประกอบ ซึ่งรวมถึงโมโนไซเลน (SiH4) ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอน-ไฮโดรเจนในระดับที่สูงกว่าในหมู่พวกเขา โมโนไซเลนเป็นชนิดที่พบมากที่สุด บางครั้งเรียกสั้น ๆ ว่าไซเลนไซเลนเป็นก๊าซไม่มีสีที่มีกลิ่นกระเทียมที่น่ารังเกียจละลายได้ในน้ำ แทบไม่ละลายในเอทานอล อีเทอร์ เบนซิน คลอโรฟอร์ม ซิลิคอนคลอโรฟอร์ม และซิลิกอนเตตระคลอไรด์คุณสมบัติทางเคมีของไซเลนมีความว่องไวมากกว่าอัลเคนและออกซิไดซ์ได้ง่ายการเผาไหม้ที่เกิดขึ้นเองสามารถเกิดขึ้นได้เมื่อสัมผัสกับอากาศไม่ทำปฏิกิริยากับไนโตรเจนที่อุณหภูมิต่ำกว่า 25°C และไม่ทำปฏิกิริยากับสารประกอบไฮโดรคาร์บอนที่อุณหภูมิห้องไฟไหม้และการระเบิดของไซเลนเป็นผลมาจากปฏิกิริยากับออกซิเจนไซเลนไวต่อออกซิเจนและอากาศมากไซเลนที่มีความเข้มข้นระดับหนึ่งจะทำปฏิกิริยาระเบิดกับออกซิเจนที่อุณหภูมิ -180°Cไซเลนได้กลายเป็นก๊าซพิเศษที่สำคัญที่สุดที่ใช้ในกระบวนการไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของเซมิคอนดักเตอร์ และใช้ในการเตรียมฟิล์มไมโครอิเล็กทรอนิกส์ต่างๆ รวมถึงฟิล์มผลึกเดี่ยว ไมโครคริสตัลไลน์ คริสตัลไลน์ ซิลิคอนออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และโลหะซิลิไซด์การใช้งานไมโครอิเล็กทรอนิกส์ของไซเลนยังคงพัฒนาในเชิงลึก: epitaxy อุณหภูมิต่ำ, epitaxy แบบเลือกได้ และ epitaxy แบบ heteroepitaxialไม่เพียงแต่สำหรับอุปกรณ์ซิลิกอนและวงจรรวมซิลิกอนเท่านั้น แต่ยังรวมถึงอุปกรณ์สารกึ่งตัวนำแบบผสม (แกลเลียมอาร์เซไนด์ ซิลิกอนคาร์ไบด์ ฯลฯ)นอกจากนี้ยังมีการประยุกต์ใช้ในการเตรียมวัสดุหลุมควอนตัมซูเปอร์แลตทิซอาจกล่าวได้ว่าไซเลนใช้ในสายการผลิตวงจรรวมขั้นสูงเกือบทั้งหมดในยุคปัจจุบันการประยุกต์ใช้ไซเลนเป็นฟิล์มและสารเคลือบที่มีซิลิกอนได้ขยายจากอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์แบบดั้งเดิมไปสู่สาขาต่างๆ เช่น เหล็ก เครื่องจักร เคมีภัณฑ์ และทัศนศาสตร์การประยุกต์ใช้ไซเลนที่เป็นไปได้อีกอย่างคือการผลิตชิ้นส่วนเครื่องยนต์เซรามิกประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งการใช้ไซเลนเพื่อผลิตซิลิไซด์ (Si3N4, SiC ฯลฯ) เทคโนโลยีผงไมโครได้รับความสนใจมากขึ้นเรื่อยๆ

แอปพลิเคชัน:

①อิเล็กทรอนิกส์:

ไซเลนถูกนำไปใช้กับชั้นโพลีคริสตัลไลน์ซิลิคอนบนซิลิคอนเวเฟอร์เมื่อผลิตเซมิคอนดักเตอร์และสารเคลือบหลุมร่องฟัน

②พลังงานแสงอาทิตย์:

ไซเลนใช้ในการผลิตแผงโซลาร์เซลล์แสงอาทิตย์

③อุตสาหกรรม:

ใช้ในกระจกเขียวประหยัดพลังงานและนำไปใช้กับกระบวนการฟิล์มบางที่สะสมไอระเหย

แพ็คเกจปกติ:

ข้อได้เปรียบ:

①มากกว่าสิบปีในตลาด

②ผู้ผลิตใบรับรอง ISO;

③จัดส่งรวดเร็ว

④แหล่งวัตถุดิบที่มั่นคง

⑤ระบบวิเคราะห์ออนไลน์เพื่อการควบคุมคุณภาพในทุกขั้นตอน

⑥ความต้องการสูงและกระบวนการที่พิถีพิถันในการจัดการกระบอกสูบก่อนบรรจุ

⑦ความบริสุทธิ์: เกรดอิเล็กทรอนิกส์ที่มีความบริสุทธิ์สูง

⑧การใช้งาน: วัสดุเซลล์แสงอาทิตย์;ทำโพลีซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง ซิลิกอนออกไซด์ และใยแก้วนำแสงการผลิตกระจกสี