ไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิคอนและไฮโดรเจน และเป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกสารประกอบหลายชนิด ไซเลนประกอบด้วยโมโนไซเลน (SiH4), ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอนไฮโดรเจนระดับสูงบางชนิด โดยมีสูตรทั่วไปคือ SinH2n+2 อย่างไรก็ตาม ในการผลิตจริง เรามักจะเรียกโมโนไซเลน (สูตรเคมี SiH4) ว่า "ไซเลน"

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซไซเลนส่วนใหญ่ได้มาจากการกลั่นปฏิกิริยาต่างๆ และการทำให้บริสุทธิ์ของผงซิลิกอน ไฮโดรเจน ซิลิกอนเตตระคลอไรด์ ตัวเร่งปฏิกิริยา ฯลฯ ไซเลนที่มีความบริสุทธิ์ 3N ถึง 4N เรียกว่าไซเลนเกรดอุตสาหกรรม และไซเลนที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 6N เรียกว่าก๊าซไซเลนเกรดอิเล็กทรอนิกส์

เป็นแหล่งก๊าซสำหรับการขนส่งส่วนประกอบซิลิกอนก๊าซไซเลนได้กลายเป็นก๊าซพิเศษสำคัญที่แหล่งซิลิคอนอื่นๆ ไม่สามารถทดแทนได้ เนื่องจากมีความบริสุทธิ์สูงและสามารถควบคุมได้อย่างละเอียด โมโนไซเลนสร้างซิลิคอนผลึกผ่านปฏิกิริยาไพโรไลซิส ซึ่งปัจจุบันเป็นหนึ่งในวิธีการผลิตซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์และซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์ในปริมาณมากของโลก

ลักษณะของไซเลน

ไซเลน (SiH4)เป็นก๊าซไม่มีสีที่ทำปฏิกิริยากับอากาศและทำให้หายใจไม่ออก มีชื่อพ้องว่าซิลิคอนไฮไดรด์ ไซเลนมีสูตรเคมีคือ SiH4 และมีปริมาณสูงถึง 99.99% ที่อุณหภูมิและความดันห้อง ไซเลนเป็นก๊าซพิษที่มีกลิ่นเหม็น จุดหลอมเหลวของไซเลนอยู่ที่ -185°C และจุดเดือดอยู่ที่ -112°C ที่อุณหภูมิห้อง ไซเลนมีความเสถียร แต่เมื่อถูกความร้อนถึง 400°C จะสลายตัวเป็นก๊าซซิลิคอนและไฮโดรเจนอย่างสมบูรณ์ ไซเลนเป็นสารไวไฟและระเบิดได้ และสามารถเผาไหม้ในอากาศหรือก๊าซฮาโลเจนได้

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

ไซเลนมีการใช้งานที่หลากหลาย นอกจากจะเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในการยึดโมเลกุลซิลิคอนเข้ากับพื้นผิวของเซลล์ระหว่างการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์แล้ว ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในโรงงานผลิตต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ จอภาพแบบจอแบน และกระจกเคลือบ

ไซเลนเป็นแหล่งซิลิคอนสำหรับกระบวนการสะสมไอเคมี เช่น ซิลิคอนผลึกเดี่ยว เวเฟอร์เอพิแทกเซียลซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์ ซิลิกอนไดออกไซด์ ซิลิกอนไนไตรด์ และกระจกฟอสโฟซิลิเกตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตและพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์ ดรัมถ่ายเอกสารซิลิคอน เซ็นเซอร์โฟโตอิเล็กทริก เส้นใยแก้วนำแสง และกระจกพิเศษ

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การประยุกต์ใช้ไซเลนในเชิงเทคโนโลยีขั้นสูงยังคงเกิดขึ้นใหม่ รวมถึงการผลิตเซรามิกขั้นสูง วัสดุคอมโพสิต วัสดุฟังก์ชัน ชีววัสดุ วัสดุพลังงานสูง ฯลฯ ซึ่งกลายมาเป็นพื้นฐานของเทคโนโลยีใหม่ วัสดุใหม่ และอุปกรณ์ใหม่มากมาย