ไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิคอนและไฮโดรเจน และเป็นคำทั่วไปสำหรับสารประกอบชุดหนึ่ง ไซเลนส่วนใหญ่ประกอบด้วยโมโนไซเลน (SiH4), ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอนไฮโดรเจนระดับสูงกว่าบางชนิด โดยมีสูตรทั่วไป SinH2n+2 อย่างไรก็ตาม ในการผลิตจริง โดยทั่วไปเราเรียกโมโนไซเลน (สูตรทางเคมี SiH4) ว่า "ไซเลน"

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซไซเลนส่วนใหญ่ได้มาจากปฏิกิริยาการกลั่นและการทำให้บริสุทธิ์ของผงซิลิกอน ไฮโดรเจน ซิลิคอนเตตระคลอไรด์ ตัวเร่งปฏิกิริยา ฯลฯ ไซเลนที่มีความบริสุทธิ์ 3N ถึง 4N เรียกว่าไซเลนเกรดอุตสาหกรรม และไซเลนที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 6N เรียกว่าอิเล็กทรอนิกส์- ก๊าซไซเลนเกรด

เป็นแหล่งก๊าซสำหรับบรรทุกส่วนประกอบซิลิกอนก๊าซไซเลนได้กลายเป็นก๊าซพิเศษที่สำคัญซึ่งไม่สามารถแทนที่ด้วยแหล่งซิลิคอนอื่นๆ ได้เนื่องจากมีความบริสุทธิ์สูงและสามารถควบคุมได้อย่างละเอียด Monosilane สร้างผลึกซิลิคอนผ่านปฏิกิริยาไพโรไลซิส ซึ่งปัจจุบันเป็นหนึ่งในวิธีการผลิตซิลิคอนโมโนคริสตัลไลน์แบบเม็ดและโพลีคริสตัลไลน์ซิลิคอนขนาดใหญ่ในโลก

ลักษณะของไซเลน

ไซเลน (SiH4)เป็นก๊าซไม่มีสีที่ทำปฏิกิริยากับอากาศและทำให้หายใจไม่ออก คำพ้องความหมายคือซิลิคอนไฮไดรด์ สูตรทางเคมีของไซเลนคือ SiH4 และมีเนื้อหาสูงถึง 99.99% ที่อุณหภูมิและความดันห้อง ไซเลนเป็นก๊าซพิษที่มีกลิ่นเหม็น จุดหลอมเหลวของไซเลนคือ -185°C และจุดเดือดคือ -112°C ไซเลนที่อุณหภูมิห้องจะคงตัว แต่เมื่อถูกความร้อนถึง 400°C ไซเลนจะสลายตัวเป็นก๊าซซิลิคอนและไฮโดรเจนอย่างสมบูรณ์ ไซเลนเป็นสารไวไฟและระเบิดได้ และจะลุกไหม้ในอากาศหรือก๊าซฮาโลเจน

ฟิลด์แอปพลิเคชัน

ไซเลนมีการใช้งานที่หลากหลาย นอกจากจะเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพสูงสุดในการยึดโมเลกุลซิลิคอนเข้ากับพื้นผิวของเซลล์ในระหว่างการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์แล้ว ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในโรงงานผลิต เช่น เซมิคอนดักเตอร์ จอแบน และกระจกเคลือบ

ไซเลนเป็นแหล่งซิลิคอนสำหรับกระบวนการสะสมไอสารเคมี เช่น ซิลิคอนผลึกเดี่ยว, เวเฟอร์เอพิเทกเซียลซิลิคอนโพลีคริสตัลไลน์, ซิลิคอนไดออกไซด์, ซิลิคอนไนไตรด์ และแก้วฟอสโฟซิลิเกตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตและพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์ กลองเครื่องถ่ายเอกสารซิลิกอน โฟโตอิเล็กทริคเซนเซอร์ ใยแก้วนำแสง และกระจกชนิดพิเศษ

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การใช้งานเทคโนโลยีขั้นสูงของไซเลนยังคงเกิดขึ้น รวมถึงการผลิตเซรามิกขั้นสูง วัสดุคอมโพสิต วัสดุเชิงฟังก์ชัน วัสดุชีวภาพ วัสดุพลังงานสูง ฯลฯ กลายเป็นพื้นฐานของเทคโนโลยีใหม่ ๆ วัสดุใหม่ ๆ และวัสดุใหม่ ๆ อุปกรณ์