ไซเลนไซเลนเป็นสารประกอบของซิลิคอนและไฮโดรเจน และเป็นคำทั่วไปที่ใช้เรียกสารประกอบหลายชนิด ไซเลนส่วนใหญ่ประกอบด้วยโมโนไซเลน (SiH4) ไดไซเลน (Si2H6) และสารประกอบซิลิคอนไฮโดรเจนระดับสูงกว่าบางชนิด โดยมีสูตรทั่วไปคือ SiH2n+2 อย่างไรก็ตาม ในการผลิตจริง เรามักเรียกโมโนไซเลน (สูตรเคมี SiH4) ว่า "ไซเลน"

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซซิเลนโดยส่วนใหญ่แล้ว ซิเลนได้มาจากการกลั่นและการทำให้บริสุทธิ์ด้วยปฏิกิริยาต่างๆ ของผงซิลิคอน ไฮโดรเจน ซิลิคอนเตตระคลอไรด์ ตัวเร่งปฏิกิริยา ฯลฯ ซิเลนที่มีความบริสุทธิ์ 3N ถึง 4N เรียกว่าซิเลนเกรดอุตสาหกรรม และซิเลนที่มีความบริสุทธิ์มากกว่า 6N เรียกว่าก๊าซซิเลนเกรดอิเล็กทรอนิกส์

ในฐานะแหล่งก๊าซสำหรับลำเลียงชิ้นส่วนซิลิคอนก๊าซซิเลนโมโนไซเลนได้กลายเป็นก๊าซพิเศษที่สำคัญซึ่งไม่สามารถทดแทนได้ด้วยแหล่งซิลิคอนอื่นๆ เนื่องจากมีความบริสุทธิ์สูงและสามารถควบคุมได้อย่างละเอียด โมโนไซเลนสร้างซิลิคอนผลึกผ่านปฏิกิริยาไพโรไลซิส ซึ่งปัจจุบันเป็นหนึ่งในวิธีการผลิตซิลิคอนผลึกเดี่ยวและซิลิคอนผลึกหลายเม็ดขนาดใหญ่ในโลก

คุณสมบัติของซิเลน

ไซเลน (SiH4)ไซเลนเป็นก๊าซไม่มีสีที่ทำปฏิกิริยากับอากาศและทำให้หายใจไม่ออก ชื่อพ้องของมันคือ ซิลิคอนไฮไดรด์ สูตรเคมีของไซเลนคือ SiH4 และมีปริมาณสูงถึง 99.99% ที่อุณหภูมิและความดันห้อง ไซเลนเป็นก๊าซพิษที่มีกลิ่นเหม็น จุดหลอมเหลวของไซเลนคือ -185℃ และจุดเดือดคือ -112℃ ที่อุณหภูมิห้อง ไซเลนมีความเสถียร แต่เมื่อถูกความร้อนถึง 400℃ มันจะสลายตัวอย่างสมบูรณ์กลายเป็นก๊าซซิลิคอนและไฮโดรเจน ไซเลนติดไฟได้และระเบิดได้ และจะลุกไหม้อย่างรุนแรงในอากาศหรือก๊าซฮาโลเจน

สาขาการประยุกต์ใช้

ซิเลนมีประโยชน์ใช้สอยหลากหลาย นอกเหนือจากการเป็นวิธีที่มีประสิทธิภาพที่สุดในการยึดโมเลกุลซิลิคอนเข้ากับพื้นผิวของเซลล์ในระหว่างการผลิตเซลล์แสงอาทิตย์แล้ว ยังมีการใช้งานอย่างแพร่หลายในโรงงานผลิตต่างๆ เช่น เซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผลแบบแบน และกระจกเคลือบ

ไซเลนซิลิคอนเป็นแหล่งกำเนิดซิลิคอนสำหรับกระบวนการตกตะกอนไอสารเคมี เช่น ซิลิคอนผลึกเดี่ยว เวเฟอร์ซิลิคอนผลึกหลายเหลี่ยมแบบเอพิแทกเซียล ซิลิคอนไดออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และกระจกฟอสโฟซิลิเกตในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และยังใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตและพัฒนาเซลล์แสงอาทิตย์ ดรัมเครื่องถ่ายเอกสารซิลิคอน เซ็นเซอร์แสง เส้นใยนำแสง และกระจกชนิดพิเศษ

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา การประยุกต์ใช้ซิเลนในด้านเทคโนโลยีขั้นสูงยังคงเกิดขึ้นอย่างต่อเนื่อง รวมถึงการผลิตเซรามิกขั้นสูง วัสดุคอมโพสิต วัสดุเชิงฟังก์ชัน วัสดุชีวภาพ วัสดุพลังงานสูง ฯลฯ ซึ่งกลายเป็นพื้นฐานของเทคโนโลยี วัสดุ และอุปกรณ์ใหม่ ๆ มากมาย