คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์คืออะไร? การใช้งานคืออะไร?

คืออะไรคาร์บอนเตตราฟลูออไรด์- การใช้งานคืออะไร?

คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์หรือที่เรียกว่าเตตราฟลูออโรมีเทน ถือเป็นสารประกอบอนินทรีย์ มันถูกใช้ในกระบวนการกัดพลาสม่าของวงจรรวมต่างๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์และสารทำความเย็นอีกด้วย ค่อนข้างเสถียรภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ แต่จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับสารออกซิแดนท์อย่างแรง วัสดุที่ติดไฟได้หรือติดไฟได้ คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟ หากเจอความร้อนสูงจะทำให้ความดันภายในภาชนะเพิ่มขึ้นและอาจเสี่ยงต่อการแตกร้าวและการระเบิดได้ โดยปกติแล้วจะสามารถโต้ตอบกับรีเอเจนต์โลหะแอมโมเนีย-โซเดียมเหลวที่อุณหภูมิห้องเท่านั้น

คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ปัจจุบันเป็นก๊าซกัดกรดพลาสม่าที่ใหญ่ที่สุดที่ใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ มันสามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในการแกะสลักของซิลิคอน, ซิลิคอนไดออกไซด์, แก้วฟอสโฟซิลิเกตและวัสดุฟิล์มบางอื่น ๆ , ทำความสะอาดพื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์, การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์, เทคโนโลยีเลเซอร์, ฉนวนก๊าซเฟส, เครื่องทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำ, สารตรวจจับการรั่วไหล, และผงซักฟอกในการผลิตวงจรพิมพ์มีการใช้งานจำนวนมาก