คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์คืออะไร? ใช้ประโยชน์อย่างไร?

อะไรคือคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์? มันมีประโยชน์อะไร?

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์คาร์บอนเตตระฟลูออโรมีเทน หรือที่รู้จักกันในชื่ออื่น ๆ ถือเป็นสารประกอบอนินทรีย์ ใช้ในกระบวนการกัดพลาสมาของวงจรรวมต่าง ๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์และสารทำความเย็น มีความเสถียรค่อนข้างดีภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ แต่จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับสารออกซิไดซ์ที่รุนแรง วัสดุไวไฟ หรือวัสดุที่ติดไฟได้ คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟ หากสัมผัสกับความร้อนสูง จะทำให้ความดันภายในภาชนะเพิ่มขึ้น และอาจเกิดการแตกร้าวและระเบิดได้ โดยปกติจะทำปฏิกิริยาได้เฉพาะกับสารละลายแอมโมเนีย-โซเดียมโลหะเหลวที่อุณหภูมิห้องเท่านั้น

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ปัจจุบันเป็นก๊าซกัดผิวพลาสมาที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ สามารถนำไปใช้ได้อย่างกว้างขวางในการกัดผิวซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ กระจกฟอสโฟซิลิเกต และวัสดุฟิล์มบางอื่นๆ การทำความสะอาดพื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เทคโนโลยีเลเซอร์ ฉนวนกันความร้อนในเฟสแก๊ส การทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำ สารตรวจจับการรั่วไหล และสารทำความสะอาดในการผลิตวงจรพิมพ์