คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์คืออะไร มีประโยชน์อย่างไร

อะไรคือคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์? มีประโยชน์อะไร?

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์หรือที่รู้จักกันในชื่อเตตระฟลูออโรมีเทน ถือเป็นสารประกอบอนินทรีย์ ใช้ในขั้นตอนการกัดพลาสมาของวงจรรวมต่างๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์และสารทำความเย็น เตตระฟลูออไรด์มีความเสถียรค่อนข้างสูงภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ แต่จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับสารออกซิไดเซอร์ที่มีฤทธิ์รุนแรง วัสดุไวไฟ หรือวัสดุที่ติดไฟได้ คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟ หากได้รับความร้อนสูง จะทำให้ความดันภายในภาชนะเพิ่มขึ้น และอาจเกิดการแตกร้าวและระเบิดได้ โดยปกติแล้ว เตตระฟลูออไรด์จะทำปฏิกิริยากับสารรีเอเจนต์โลหะแอมโมเนีย-โซเดียมเหลวที่อุณหภูมิห้องเท่านั้น

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ปัจจุบันเป็นก๊าซกัดกร่อนพลาสมาขนาดใหญ่ที่สุดที่ใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ ก๊าซนี้สามารถนำมาใช้กันอย่างแพร่หลายในการกัดกร่อนซิลิคอน ซิลิกอนไดออกไซด์ กระจกฟอสโฟซิลิเกต และวัสดุฟิล์มบางอื่นๆ ทำความสะอาดพื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เทคโนโลยีเลเซอร์ ฉนวนไฟฟ้าในสถานะก๊าซ ระบบทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ สารตรวจจับการรั่วไหล และสารซักฟอกในการผลิตแผงวงจรพิมพ์ ซึ่งมีการใช้งานอย่างกว้างขวาง