คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์คืออะไร?การใช้งานคืออะไร?

คืออะไรคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์?การใช้งานคืออะไร?

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์หรือที่เรียกว่าเตตระฟลูออโรมีเทนถือเป็นสารประกอบอนินทรีย์ใช้ในกระบวนการกัดด้วยพลาสมาของวงจรรวมต่างๆ และยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์และสารทำความเย็นอีกด้วยค่อนข้างเสถียรภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ แต่จำเป็นต้องหลีกเลี่ยงการสัมผัสกับสารออกซิแดนท์ที่แรง วัสดุไวไฟหรือติดไฟได้คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟหากเจอความร้อนสูงจะทำให้แรงดันภายในภาชนะเพิ่มขึ้น อาจเกิดอันตรายจากการแตกร้าวและระเบิดได้โดยปกติจะทำปฏิกิริยากับน้ำยาโลหะแอมโมเนีย-โซเดียมเหลวที่อุณหภูมิห้องเท่านั้น

คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ปัจจุบันเป็นก๊าซกัดพลาสมาที่ใหญ่ที่สุดที่ใช้ในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในการกัดซิลิกอน, ซิลิกอนไดออกไซด์, แก้วฟอสฟอซิลิเกตและวัสดุฟิล์มบางอื่นๆ, การทำความสะอาดพื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์, การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์, เทคโนโลยีเลเซอร์, ฉนวนเฟสก๊าซ, การทำความเย็นที่อุณหภูมิต่ำ, สารตรวจจับการรั่วไหล, และผงซักฟอกในการผลิตวงจรพิมพ์มีการใช้งานจำนวนมาก