แผนการทดแทนก๊าซพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ภายในประเทศได้รับการเร่งรัดทุกด้าน!

ในปี 2018 ตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลกสำหรับวงจรรวมมีมูลค่าถึง 4.512 พันล้านดอลลาร์สหรัฐ เพิ่มขึ้น 16% เมื่อเทียบเป็นรายปี อัตราการเติบโตสูงของอุตสาหกรรมก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และขนาดตลาดที่ใหญ่โตได้เร่งแผนการทดแทนก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศ!

แก๊สอิเล็กตรอนคืออะไร?

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์หมายถึงวัตถุดิบพื้นฐานที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จอแบน ไดโอดเปล่งแสง เซลล์แสงอาทิตย์ และผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการทำความสะอาด การแกะสลัก การสร้างฟิล์ม การเติมสารต้องห้าม และกระบวนการอื่นๆ การใช้งานหลักของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ โซล่าเซลล์ การสื่อสารเคลื่อนที่ ระบบนำทางในรถยนต์และระบบเครื่องเสียงและวิดีโอในรถยนต์ การบินและอวกาศ อุตสาหกรรมการทหาร และสาขาอื่นๆ อีกมากมาย

ก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์สามารถแบ่งออกได้เป็น 7 ประเภทตามองค์ประกอบทางเคมี: ซิลิคอน สารหนู ฟอสฟอรัส โบรอน โลหะไฮไดรด์ เฮไลด์ และโลหะอัลคอกไซด์ ตามวิธีการใช้งานที่แตกต่างกันในวงจรรวม มันสามารถแบ่งออกเป็นก๊าซยาสลบ ก๊าซ epitaxy ก๊าซฝังไอออน ก๊าซไดโอดเปล่งแสง ก๊าซกัด ก๊าซสะสมไอสารเคมี และก๊าซสมดุล มีก๊าซพิเศษมากกว่า 110 หน่วยที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมากกว่า 30 หน่วยมักใช้

โดยทั่วไป อุตสาหกรรมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แบ่งก๊าซออกเป็นสองประเภท: ก๊าซทั่วไปและก๊าซพิเศษ ในหมู่พวกเขา ก๊าซที่ใช้กันทั่วไปหมายถึงการจ่ายแบบรวมศูนย์และใช้ก๊าซจำนวนมาก เช่น N2, H2, O2, Ar, He เป็นต้น ก๊าซพิเศษหมายถึงก๊าซเคมีบางชนิดที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การขยาย การฉีดไอออน การผสม การล้าง และการสร้างหน้ากาก ซึ่งปัจจุบันเรียกว่าก๊าซพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ เช่น SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6 ที่มีความบริสุทธิ์สูง NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 ฯลฯ

ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ตั้งแต่การเติบโตของชิปไปจนถึงการบรรจุอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย เกือบทุกส่วนเชื่อมต่อไม่สามารถแยกออกจากก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ และก๊าซที่ใช้ที่หลากหลายและข้อกำหนดคุณภาพสูง ดังนั้นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์จึงมีวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ "อาหาร".

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่สำคัญของจีน เช่น เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผล ได้เพิ่มกำลังการผลิตใหม่ และมีความต้องการนำเข้าวัสดุเคมีอิเล็กทรอนิกส์ทดแทนการนำเข้าอย่างมาก ตำแหน่งของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีความโดดเด่นมากขึ้น อุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจะนำไปสู่การเติบโตอย่างรวดเร็ว

ก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์มีความต้องการความบริสุทธิ์สูงมาก เพราะหากความบริสุทธิ์ไม่เป็นไปตามข้อกำหนด กลุ่มสิ่งเจือปน เช่น ไอน้ำและออกซิเจนในก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์จะก่อตัวเป็นฟิล์มออกไซด์บนพื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างง่ายดาย ซึ่งส่งผลต่อ อายุการใช้งานของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์และก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ประกอบด้วยอนุภาคของสิ่งสกปรกอาจทำให้เกิดการลัดวงจรของเซมิคอนดักเตอร์และวงจรเสียหาย อาจกล่าวได้ว่าการปรับปรุงความบริสุทธิ์มีบทบาทสำคัญในผลผลิตและประสิทธิภาพของการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการผลิตชิปยังคงปรับปรุงอย่างต่อเนื่อง และตอนนี้ก็ถึง 5 นาโนเมตร ซึ่งกำลังจะเข้าใกล้ขีดจำกัดของกฎของมัวร์ ซึ่งเทียบเท่ากับหนึ่งในยี่สิบของเส้นผ่านศูนย์กลางของเส้นผมมนุษย์ ( ประมาณ 0.1 มม.) ดังนั้น สิ่งนี้ยังทำให้เกิดข้อกำหนดที่สูงขึ้นเกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ที่ผลิตโดยเซมิคอนดักเตอร์