แผนการทดแทนก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศได้รับการเร่งในทุกด้าน!

ในปี 2561 ตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลกสำหรับวงจรรวมมีมูลค่าถึง 4.512 พันล้านเหรียญสหรัฐ เพิ่มขึ้น 16% เมื่อเทียบเป็นรายปีอัตราการเติบโตที่สูงของอุตสาหกรรมก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์สำหรับเซมิคอนดักเตอร์และขนาดตลาดที่ใหญ่ได้เร่งแผนการทดแทนในประเทศของก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์!

ก๊าซอิเล็กตรอนคืออะไร?

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์หมายถึงวัสดุต้นทางพื้นฐานที่ใช้ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผลแบบแบน ไดโอดเปล่งแสง เซลล์แสงอาทิตย์ และผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ และมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการทำความสะอาด การแกะสลัก การสร้างฟิล์ม การเติม และกระบวนการอื่นๆการใช้งานหลักของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่ อุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เซลล์แสงอาทิตย์ การสื่อสารเคลื่อนที่ ระบบนำทางรถยนต์และระบบเสียงและวิดีโอในรถยนต์ การบินและอวกาศ อุตสาหกรรมการทหาร และสาขาอื่นๆ อีกมากมาย

ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์สามารถแบ่งออกเป็นเจ็ดประเภทตามองค์ประกอบทางเคมีของมันเอง: ซิลิกอน, สารหนู, ฟอสฟอรัส, โบรอน, ไฮไดรด์ของโลหะ, ฮาไลด์และอัลคอกไซด์ของโลหะตามวิธีการใช้งานที่แตกต่างกันในวงจรรวม สามารถแบ่งได้เป็นก๊าซสลบ ก๊าซอีพิทาซี ก๊าซไอออนฝังตัว ก๊าซไดโอดเปล่งแสง ก๊าซกัด ก๊าซสะสมไอเคมี และก๊าซสมดุลมีก๊าซพิเศษมากกว่า 110 หน่วยที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมากกว่า 30 ชนิดที่ใช้กันทั่วไป

โดยทั่วไป อุตสาหกรรมการผลิตสารกึ่งตัวนำจะแบ่งก๊าซออกเป็นสองประเภท ได้แก่ ก๊าซทั่วไปและก๊าซพิเศษในหมู่พวกเขา ก๊าซที่ใช้กันทั่วไปหมายถึงแหล่งจ่ายแบบรวมศูนย์และใช้ก๊าซจำนวนมาก เช่น N2, H2, O2, Ar, He เป็นต้น ก๊าซพิเศษหมายถึงก๊าซเคมีบางชนิดที่ใช้ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เช่น การขยาย, การฉีดไอออน, การผสม, การล้าง และการสร้างมาสก์ ซึ่งปัจจุบันเราเรียกว่าก๊าซพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ เช่น SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 เป็นต้น

ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ตั้งแต่การเติบโตของชิปไปจนถึงการบรรจุอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย แทบทุกข้อต่อจะแยกออกจากก๊าซพิเศษแบบอิเล็กทรอนิกส์ไม่ได้ และก๊าซที่ใช้หลากหลายชนิดและข้อกำหนดด้านคุณภาพสูง ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์จึงมีวัสดุเซมิคอนดักเตอร์"อาหาร".

ในช่วงไม่กี่ปีที่ผ่านมา ชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่สำคัญของจีน เช่น เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผลได้เพิ่มกำลังการผลิตใหม่ และมีความต้องการอย่างมากสำหรับการนำเข้าวัสดุทดแทนเคมีอิเล็กทรอนิกส์ตำแหน่งของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์มีความโดดเด่นมากขึ้นเรื่อยๆอุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจะนำการเติบโตอย่างรวดเร็ว

ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์มีความต้องการความบริสุทธิ์สูงมาก เนื่องจากหากความบริสุทธิ์ไม่เป็นไปตามข้อกำหนด กลุ่มสิ่งเจือปน เช่น ไอน้ำและออกซิเจนในก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์จะก่อตัวเป็นฟิล์มออกไซด์บนพื้นผิวของเซมิคอนดักเตอร์ได้ง่าย ซึ่งส่งผลต่อ อายุการใช้งานของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ และก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ประกอบด้วย อนุภาคของสิ่งเจือปนอาจทำให้เกิดการลัดวงจรของสารกึ่งตัวนำและความเสียหายของวงจรอาจกล่าวได้ว่าการปรับปรุงความบริสุทธิ์มีบทบาทสำคัญในผลผลิตและประสิทธิภาพของการผลิตอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์

ด้วยการพัฒนาอย่างต่อเนื่องของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการผลิตชิปยังคงพัฒนาต่อไป และตอนนี้มีการผลิตถึง 5 นาโนเมตรแล้ว ซึ่งกำลังจะเข้าใกล้ขีดจำกัดของกฎของมัวร์ ซึ่งเท่ากับหนึ่งในยี่สิบของเส้นผ่านศูนย์กลางของเส้นผมมนุษย์ ( ประมาณ 0.1 มม.)ดังนั้น สิ่งนี้ยังทำให้ความต้องการที่สูงขึ้นในด้านความบริสุทธิ์ของก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่ผลิตโดยเซมิคอนดักเตอร์