เอพิแทกเซียล (การเจริญเติบโต)กาผสมs

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซที่ใช้ในการปลูกวัสดุหนึ่งชั้นหรือมากกว่านั้นโดยการสะสมไอเคมีบนพื้นผิวที่เลือกอย่างระมัดระวัง เรียกว่า ก๊าซเอพิแทกเซียล

ก๊าซเอพิแทกเซียลซิลิคอนที่ใช้กันทั่วไป ได้แก่ ไดคลอโรซิเลน ซิลิคอนเตตระคลอไรด์ และไซเลนส่วนใหญ่ใช้สำหรับการสะสมซิลิกอนแบบเอพิแทกเซียล การสะสมฟิล์มซิลิกอนออกไซด์ การสะสมฟิล์มซิลิกอนไนไตรด์ การสะสมฟิล์มซิลิกอนอะมอร์ฟัสสำหรับเซลล์แสงอาทิตย์และโฟโตรีเซพเตอร์อื่นๆ เป็นต้น เอพิแทกซีเป็นกระบวนการที่วัสดุผลึกเดี่ยวถูกสะสมและเจริญเติบโตบนพื้นผิวของสารตั้งต้น

การสะสมไอเคมี (CVD) ก๊าซผสม

CVD เป็นวิธีการสะสมธาตุและสารประกอบบางชนิดโดยปฏิกิริยาเคมีในเฟสก๊าซโดยใช้สารประกอบระเหยง่าย กล่าวคือ วิธีการสร้างฟิล์มโดยใช้ปฏิกิริยาเคมีในเฟสก๊าซ ก๊าซที่ใช้สำหรับการสะสมไอเคมี (CVD) จะแตกต่างกันไปตามชนิดของฟิล์มที่เกิดขึ้น

การใช้สารกระตุ้นก๊าซผสม

ในการผลิตอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และวงจรรวม สิ่งเจือปนบางชนิดจะถูกเจือปนเข้าไปในวัสดุเซมิคอนดักเตอร์เพื่อให้วัสดุมีคุณสมบัติการนำไฟฟ้าและความต้านทานที่ต้องการในการผลิตตัวต้านทาน รอยต่อ PN ชั้นฝัง ฯลฯ ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการเจือปนเรียกว่าก๊าซเจือปน

ประกอบด้วยสารหนู ฟอสฟีน ฟอสฟอรัสไตรฟลูออไรด์ ฟอสฟอรัสเพนตาฟลูออไรด์ สารหนูไตรฟลูออไรด์ สารหนูเพนตาฟลูออไรด์โบรอนไตรฟลูออไรด์, ไดโบเรน ฯลฯ

โดยทั่วไป แหล่งสารเจือปนจะถูกผสมกับก๊าซพาหะ (เช่น อาร์กอนและไนโตรเจน) ในตู้เก็บสารเจือปน หลังจากการผสมแล้ว ก๊าซจะถูกฉีดเข้าไปในเตาหลอมแบบแพร่อย่างต่อเนื่องและล้อมรอบแผ่นเวเฟอร์ ทำให้เกิดสารเจือปนบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์ และทำปฏิกิริยากับซิลิกอนเพื่อสร้างโลหะเจือปนที่เคลื่อนที่เข้าไปในซิลิกอน

การแกะสลักส่วนผสมของก๊าซ

การกัดกร่อนคือการกัดกร่อนพื้นผิวการประมวลผล (เช่น ฟิล์มโลหะ ฟิล์มซิลิกอนออกไซด์ ฯลฯ) บนพื้นผิววัสดุพิมพ์โดยไม่ใช้การปกปิดด้วยโฟโตเรซิสต์ ในขณะที่ยังคงรักษาพื้นที่นั้นไว้ด้วยการปกปิดด้วยโฟโตเรซิสต์ เพื่อให้ได้รูปแบบการสร้างภาพที่ต้องการบนพื้นผิววัสดุพิมพ์

วิธีการกัดประกอบด้วยการกัดด้วยสารเคมีแบบเปียกและการกัดด้วยสารเคมีแบบแห้ง ก๊าซที่ใช้ในการกัดด้วยสารเคมีแบบแห้งเรียกว่าก๊าซกัด

ก๊าซกัดกร่อนโดยทั่วไปจะเป็นก๊าซฟลูออไรด์ (ฮาไลด์) เช่นคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์, ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์, ไตรฟลูออโรมีเทน, เฮกซะฟลูออโรอีเทน, เพอร์ฟลูออโรโพรเพน ฯลฯ