ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่มีฟลูออรีนทั่วไป ได้แก่ ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), ทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์ (WF6), คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ (CF4), ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3), ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3), เฮกซาฟลูออโรอีเทน (C2F6) และออกตาฟลูออโรโพรเพน (C3F8) ด้วยการพัฒนานาโนเทคโนโลยีและ...
อ่านเพิ่มเติม