ข้อมูลจำเพาะ | 99.999% |
ออกซิเจน+อาร์กอน | ≤1ppm |
ไนโตรเจน | ≤4 ppm |
ความชื้น (H2O) | ≤3 ppm |
HF | ≤0.1 พีพีเอ็ม |
CO | ≤0.1 พีพีเอ็ม |
คาร์บอนไดออกไซด์ | ≤1 ppm |
SF6 | ≤1 ppm |
ฮาโลคาร์บินส์ | ≤1 ppm |
สิ่งเจือปนทั้งหมด | ≤10 ppm |
คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นไฮโดรคาร์บอนฮาโลเจนที่มีสูตรเคมี CF4 คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์อาจจัดเป็นไฮโดรคาร์บอนฮาโลเจน มีเทนฮาโลเจน เพอร์ฟลูออโรคาร์บอน หรือสารประกอบอนินทรีย์ คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซไม่มีสีและไม่มีกลิ่น ไม่ละลายน้ำ ละลายได้ในเบนซีนและคลอโรฟอร์ม มีความเสถียรภายใต้อุณหภูมิและความดันปกติ หลีกเลี่ยงสารออกซิไดเซอร์ที่แรง และวัสดุไวไฟหรือวัสดุที่ติดไฟได้ คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่ติดไฟ ความดันภายในภาชนะจะเพิ่มขึ้นเมื่อสัมผัสกับความร้อนสูง และมีความเสี่ยงต่อการแตกร้าวและระเบิด มีความเสถียรทางเคมีและไม่ติดไฟ มีเพียงรีเอเจนต์แอมโมเนีย-โซเดียมโลหะเหลวเท่านั้นที่สามารถทำงานได้ที่อุณหภูมิห้อง คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ก่อให้เกิดปรากฏการณ์เรือนกระจก มีความเสถียรสูง สามารถคงอยู่ในบรรยากาศได้เป็นเวลานาน และเป็นก๊าซเรือนกระจกที่มีฤทธิ์รุนแรง คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ถูกนำมาใช้ในกระบวนการกัดพลาสมาของวงจรรวมต่างๆ นอกจากนี้ยังใช้เป็นก๊าซเลเซอร์ และใช้ในสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ ตัวทำละลาย น้ำมันหล่อลื่น วัสดุฉนวน และสารหล่อเย็นสำหรับเครื่องตรวจจับอินฟราเรด เป็นก๊าซกัดกร่อนพลาสมาที่ใช้มากที่สุดในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ เป็นส่วนผสมของก๊าซเตตระฟลูออโรมีเทนความบริสุทธิ์สูง ก๊าซเตตระฟลูออโรมีเทนความบริสุทธิ์สูง และออกซิเจนความบริสุทธิ์สูง สามารถใช้กันอย่างแพร่หลายในซิลิคอน ซิลิคอนไดออกไซด์ ซิลิคอนไนไตรด์ และกระจกฟอสโฟซิลิเกต การกัดกร่อนวัสดุฟิล์มบาง เช่น ทังสเตนและทังสเตน ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในการทำความสะอาดพื้นผิวของอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ การผลิตเซลล์แสงอาทิตย์ เทคโนโลยีเลเซอร์ การทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ การตรวจสอบรอยรั่ว และผงซักฟอกในการผลิตแผงวงจรพิมพ์ ใช้เป็นสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำและเทคโนโลยีการกัดกร่อนพลาสมาแบบแห้งสำหรับวงจรรวม ข้อควรระวังในการจัดเก็บ: เก็บในโกดังเก็บก๊าซที่ไม่ติดไฟและมีอากาศถ่ายเทสะดวก เก็บให้ห่างจากไฟและแหล่งความร้อน อุณหภูมิในการจัดเก็บไม่ควรเกิน 30°C ควรจัดเก็บแยกต่างหากจากสารไวไฟและสารออกซิไดซ์ที่ติดไฟได้ง่าย และหลีกเลี่ยงการจัดเก็บแบบผสมกัน พื้นที่จัดเก็บควรมีอุปกรณ์บำบัดฉุกเฉินสำหรับการรั่วไหล
① สารทำความเย็น:
บางครั้งมีการใช้เตตระฟลูออโรมีเทนเป็นสารทำความเย็นอุณหภูมิต่ำ
② การแกะสลัก:
ใช้ในงานไมโครแฟบริเคชันอิเล็กทรอนิกส์เพียงอย่างเดียวหรือร่วมกับออกซิเจนเป็นสารกัดพลาสมาสำหรับซิลิกอน ซิลิกอนไดออกไซด์ และซิลิกอนไนไตรด์
ผลิตภัณฑ์ | คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ซีเอฟ4 | ||
ขนาดบรรจุภัณฑ์ | ถังขนาด 40 ลิตร | ถังขนาด 50 ลิตร | |
น้ำหนักสุทธิต่อกระบอกสูบ | 30กก. | 38กก. | |
จำนวนที่บรรจุในคอนเทนเนอร์ 20' | 250 สูบ | 250 สูบ | |
น้ำหนักสุทธิรวม | 7.5 ตัน | 9.5 ตัน | |
น้ำหนักเปล่าของกระบอกสูบ | 50กก. | 55กก. | |
วาล์ว | ซีจีเอ 580 |
①ความบริสุทธิ์สูง, สิ่งอำนวยความสะดวกล่าสุด
②ผู้ผลิตมีใบรับรอง ISO;
③การจัดส่งรวดเร็ว;
④ระบบวิเคราะห์ออนไลน์เพื่อการควบคุมคุณภาพทุกขั้นตอน
⑤ความต้องการสูงและกระบวนการที่พิถีพิถันในการจัดการถังก่อนการบรรจุ