การใช้งานของทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์ (WF6)

ทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์ (WF6) ถูกเคลือบลงบนพื้นผิวของเวเฟอร์ผ่านกระบวนการ CVD โดยเติมเต็มร่องเชื่อมต่อโลหะและสร้างการเชื่อมต่อโลหะระหว่างชั้นต่างๆ

มาพูดถึงพลาสมากันก่อน พลาสมาเป็นสสารรูปแบบหนึ่งที่ประกอบด้วยอิเล็กตรอนอิสระและไอออนที่มีประจุเป็นหลัก มันมีอยู่ทั่วไปในจักรวาลและมักถูกมองว่าเป็นสถานะที่สี่ของสสาร จึงเรียกอีกอย่างว่า "พลาสมา" พลาสมามีค่าการนำไฟฟ้าสูงและมีปฏิสัมพันธ์ที่แข็งแกร่งกับสนามแม่เหล็กไฟฟ้า มันเป็นก๊าซที่แตกตัวเป็นไอออนบางส่วน ประกอบด้วยอิเล็กตรอน ไอออน อนุมูลอิสระ อนุภาคที่เป็นกลาง และโฟตอน ตัวพลาสมาเองเป็นส่วนผสมที่เป็นกลางทางไฟฟ้าซึ่งประกอบด้วยอนุภาคที่มีกิจกรรมทางกายภาพและทางเคมี

คำอธิบายที่ตรงไปตรงมาคือ ภายใต้การกระทำของพลังงานสูง โมเลกุลจะเอาชนะแรงแวนเดอร์วาลส์ แรงพันธะเคมี และแรงคูลอมบ์ และแสดงออกมาในรูปของประจุไฟฟ้าที่เป็นกลางโดยรวม ในขณะเดียวกัน พลังงานสูงที่ส่งมาจากภายนอกจะเอาชนะแรงทั้งสามข้างต้น ทำให้อิเล็กตรอนและไอออนอยู่ในสถานะอิสระ ซึ่งสามารถนำมาใช้ประโยชน์ได้ภายใต้การปรับเปลี่ยนของสนามแม่เหล็ก เช่น กระบวนการกัดเซาะเซมิคอนดักเตอร์ กระบวนการ CVD กระบวนการ PVD และกระบวนการ IMP

พลังงานสูงคืออะไร? ในทางทฤษฎีแล้ว ทั้งอุณหภูมิสูงและความถี่สูงของคลื่นวิทยุ (RF) สามารถนำมาใช้ได้ โดยทั่วไปแล้ว การทำให้อุณหภูมิสูงเกิดขึ้นได้นั้นแทบเป็นไปไม่ได้เลย อุณหภูมิที่ต้องการนั้นสูงเกินไปและอาจใกล้เคียงกับอุณหภูมิของดวงอาทิตย์ ซึ่งโดยพื้นฐานแล้วเป็นไปไม่ได้ที่จะทำให้เกิดขึ้นได้ในกระบวนการผลิต ดังนั้น อุตสาหกรรมจึงมักใช้ความถี่สูงของคลื่นวิทยุ (RF) เพื่อให้ได้อุณหภูมิที่ต้องการ ความถี่สูงของคลื่นวิทยุในพลาสมาสามารถสูงถึง 13MHz ขึ้นไป

ทังสเตนเฮกซาฟลูออไรด์จะถูกทำให้เป็นพลาสมาภายใต้การกระทำของสนามไฟฟ้า จากนั้นจึงถูกทำให้ตกตะกอนด้วยไอโดยใช้สนามแม่เหล็ก อะตอมของ W มีลักษณะคล้ายขนนกในฤดูหนาวและตกลงสู่พื้นภายใต้แรงโน้มถ่วง อะตอมของ W จะค่อยๆ ตกตะกอนลงในรูทะลุ และในที่สุดก็จะเติมเต็มรูทะลุทั้งหมดเพื่อสร้างการเชื่อมต่อโลหะ นอกจากจะตกตะกอนอะตอมของ W ในรูทะลุแล้ว จะมีการตกตะกอนอะตอมของ W บนพื้นผิวของเวเฟอร์ด้วยหรือไม่? แน่นอน โดยทั่วไปแล้ว คุณสามารถใช้กระบวนการ W-CMP ซึ่งเป็นกระบวนการขัดเชิงกลเพื่อกำจัดออกได้ มันคล้ายกับการใช้ไม้กวาดกวาดพื้นหลังจากหิมะตกหนัก หิมะบนพื้นจะถูกกวาดออกไป แต่หิมะในรูบนพื้นจะยังคงอยู่ เช่นเดียวกัน