ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่มีฟลูออรีนทั่วไป ได้แก่ซัลเฟอร์เฮกซะฟลูออไรด์ (SF6), ทังสเตน เฮกซาฟลูออไรด์ (WF6),คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ (CF4), ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3), ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3), เฮกซะฟลูออโรอีเทน (C2F6) และออกตาฟลูออโรโพรเพน (C3F8)
ด้วยการพัฒนาของนาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ในระดับใหญ่ ความต้องการนาโนเทคโนโลยีจึงเพิ่มขึ้นทุกวัน ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ ซึ่งเป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่ขาดไม่ได้และมีการใช้งานมากที่สุดในการผลิตและแปรรูปแผงโซลาร์เซลล์และเซมิคอนดักเตอร์ มีพื้นที่ทางการตลาดที่กว้างขวาง
เป็นก๊าซชนิดพิเศษที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3)เป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่มีกำลังการผลิตสูงสุดในตลาด มีคุณสมบัติเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้อง มีฤทธิ์มากกว่าออกซิเจนที่อุณหภูมิสูง เสถียรกว่าฟลูออรีน และใช้งานง่าย ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ส่วนใหญ่ใช้เป็นก๊าซกัดกร่อนพลาสมาและสารทำความสะอาดห้องปฏิกิริยา เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ จอแบน เส้นใยแก้วนำแสง เซลล์แสงอาทิตย์ และอื่นๆ
เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์อื่นๆ ที่มีฟลูออรีนไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีข้อดีคือมีปฏิกิริยาตอบสนองที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกัดวัสดุที่มีซิลิคอนเป็นส่วนประกอบ เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ จึงมีอัตราการกัดและการเลือกกัดสูง ไม่ทิ้งคราบตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่กัด นอกจากนี้ยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีเยี่ยมและไม่ก่อให้เกิดมลภาวะต่อพื้นผิว ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการกัดได้
เวลาโพสต์: 14 ก.ย. 2567
