ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่ใช้มากที่สุด - ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษที่มีฟลูออรีนทั่วไปได้แก่ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), ทังสเตน เฮกซาฟลูออไรด์ (WF6),คาร์บอนเตตราฟลูออไรด์ (CF4), ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3), ไนโตรเจน ไตรฟลูออไรด์ (NF3), เฮกซะฟลูออโรอีเทน (C2F6) และออกตะฟลูออโรโพรเพน (C3F8)

ด้วยการพัฒนานาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาขนาดใหญ่ของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ ความต้องการจะเพิ่มขึ้นทุกวัน ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์เป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษที่ขาดไม่ได้และใช้มากที่สุดในการผลิตและการแปรรูปแผงและเซมิคอนดักเตอร์ มีพื้นที่ตลาดที่กว้างขวาง

เนื่องจากเป็นก๊าซชนิดพิเศษที่ประกอบด้วยฟลูออรีนไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3)เป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซชนิดพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่มีกำลังการผลิตตลาดมากที่สุด เป็นสารเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้อง มีความว่องไวมากกว่าออกซิเจนที่อุณหภูมิสูง มีความเสถียรมากกว่าฟลูออรีน และง่ายต่อการจัดการ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ส่วนใหญ่จะใช้เป็นก๊าซกัดกรดในพลาสมาและสารทำความสะอาดห้องปฏิกิริยา และเหมาะสำหรับสาขาการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ จอแบน ใยแก้วนำแสง เซลล์ไฟฟ้าโซลาร์เซลล์ ฯลฯ

เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนอื่นๆไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีข้อดีคือเกิดปฏิกิริยาเร็วและมีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการแกะสลักวัสดุที่มีซิลิคอน เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ มีอัตราการแกะสลักและการเลือกสรรสูง โดยไม่ทิ้งสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่ถูกแกะสลัก นอกจากนี้ยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมากและไม่มีมลภาวะต่อพื้นผิวซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการแปรรูปได้