ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่มีฟลูออรีนทั่วไปรวมถึงซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6)คาร์บอน tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), ไนโตรเจน trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) และ Octafluoropropane (C3F8)
ด้วยการพัฒนานาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาขนาดใหญ่ของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ความต้องการจะเพิ่มขึ้นทุกวัน ไนโตรเจน trifluoride ซึ่งเป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่ขาดไม่ได้และใหญ่ที่สุดในการผลิตและการประมวลผลของแผงและเซมิคอนดักเตอร์มีพื้นที่ตลาดกว้าง
เป็นชนิดของก๊าซพิเศษที่มีฟลูออรีนไนโตรเจน trifluoride (NF3)เป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่มีกำลังการผลิตที่ใหญ่ที่สุด มันเป็นความเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้องใช้งานมากกว่าออกซิเจนที่อุณหภูมิสูงมีความเสถียรมากกว่าฟลูออรีนและง่ายต่อการจัดการ ไนโตรเจน trifluoride ส่วนใหญ่ใช้เป็นก๊าซการแกะสลักพลาสมาและสารทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาและเหมาะสำหรับสาขาการผลิตของชิปเซมิคอนดักเตอร์, จอแสดงผลแบน
เมื่อเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนอื่น ๆไนโตรเจน trifluorideมีข้อดีของการตอบสนองที่รวดเร็วและมีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการแกะสลักของวัสดุที่มีซิลิคอนเช่นซิลิกอนไนไตรด์มีอัตราการกัดกร่อนสูงและการคัดเลือกโดยไม่มีสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่แกะสลัก นอกจากนี้ยังเป็นตัวแทนทำความสะอาดที่ดีมากและไม่มีมลพิษต่อพื้นผิวซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการประมวลผล
เวลาโพสต์: ก.ย. -14-2024
