ก๊าซพิเศษที่ใช้กันมากที่สุดในอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์คือ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบที่พบได้ทั่วไป ได้แก่ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), ทังสเตน เฮกซาฟลูออไรด์ (WF6),คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ (CF4)ได้แก่ ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3), ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3), เฮกซาฟลูออโรอีเทน (C2F6) และออกตาฟลูออโรโพรเพน (C3F8)

ด้วยการพัฒนาของนาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ขนาดใหญ่ ความต้องการก๊าซชนิดนี้จะเพิ่มขึ้นทุกวัน ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ ซึ่งเป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษที่ขาดไม่ได้และใช้งานมากที่สุดในการผลิตและแปรรูปแผงและเซมิคอนดักเตอร์ มีตลาดรองรับที่กว้างขวาง

ในฐานะที่เป็นก๊าซชนิดพิเศษที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3)ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์เป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ที่มีกำลังการผลิตในตลาดมากที่สุด มีคุณสมบัติเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้อง มีปฏิกิริยามากกว่าออกซิเจนที่อุณหภูมิสูง มีเสถียรภาพมากกว่าฟลูออรีน และใช้งานง่าย ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ส่วนใหญ่ใช้เป็นก๊าซกัดพลาสมาและสารทำความสะอาดห้องปฏิกิริยา เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผลแบบแบน เส้นใยนำแสง เซลล์แสงอาทิตย์ เป็นต้น

เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนเป็นองค์ประกอบอื่นๆไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีข้อดีคือปฏิกิริยารวดเร็วและมีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกัดเซาะวัสดุที่มีซิลิคอนเป็นองค์ประกอบ เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ มีอัตราการกัดเซาะและความเลือกสรรสูง ไม่ทิ้งสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่ถูกกัดเซาะ นอกจากนี้ยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมากและไม่ก่อให้เกิดมลพิษต่อพื้นผิว ซึ่งสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการผลิตได้