ก๊าซชนิดพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ปริมาณมากที่สุด – ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ NF3

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมแผงโซลาร์เซลล์ของประเทศเรายังคงเจริญรุ่งเรืองในระดับสูง ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ ซึ่งเป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษที่ขาดไม่ได้และมีปริมาณมากที่สุดในการผลิตและแปรรูปแผงโซลาร์เซลล์และเซมิคอนดักเตอร์ มีส่วนแบ่งการตลาดที่กว้างขวาง

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบซึ่งนิยมใช้กันทั่วไป ได้แก่ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), ทังสเตน เฮกซาฟลูออไรด์ (WF6),คาร์บอนเตตระฟลูออไรด์ (CF4)ได้แก่ ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3), ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3), เฮกซาฟลูออโรอีเทน (C2F6) และออกตาฟลูออโรโพรเพน (C3F8) ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3) ส่วนใหญ่ใช้เป็นแหล่งกำเนิดฟลูออรีนสำหรับเลเซอร์เคมีพลังงานสูงชนิดไฮโดรเจนฟลูออไรด์-ก๊าซฟลูออไรด์ พลังงานปฏิกิริยาส่วนที่มีประสิทธิภาพ (ประมาณ 25%) ระหว่าง H2-O2 และ F2 สามารถปลดปล่อยออกมาได้โดยการแผ่รังสีเลเซอร์ ดังนั้นเลเซอร์ HF-OF จึงเป็นเลเซอร์ที่มีศักยภาพมากที่สุดในบรรดาเลเซอร์เคมี

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์เป็นก๊าซกัดผิวด้วยพลาสมาที่ดีเยี่ยมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ สำหรับการกัดผิวซิลิคอนและซิลิคอนไนไตรด์ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีอัตราการกัดผิวและความเลือกสรรสูงกว่าคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์และส่วนผสมของคาร์บอนเตตระฟลูออไรด์และออกซิเจน และไม่ก่อให้เกิดมลพิษต่อพื้นผิว โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกัดผิววัสดุวงจรรวมที่มีความหนาน้อยกว่า 1.5 ไมโครเมตร ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีอัตราการกัดผิวและความเลือกสรรที่ดีเยี่ยมมาก ไม่ทิ้งสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่ถูกกัดผิว และยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมากอีกด้วย ด้วยการพัฒนาของนาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ขนาดใหญ่ ความต้องการใช้ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์จะเพิ่มขึ้นทุกวัน

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3) เป็นก๊าซพิเศษที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบ และเป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษทางอิเล็กทรอนิกส์ที่ได้รับความนิยมมากที่สุดในตลาด มีคุณสมบัติเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้อง มีปฏิกิริยามากกว่าออกซิเจน มีเสถียรภาพมากกว่าฟลูออรีน และง่ายต่อการใช้งานที่อุณหภูมิสูง

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ส่วนใหญ่ใช้เป็นก๊าซกัดพลาสมาและสารทำความสะอาดห้องปฏิกิริยา เหมาะสำหรับอุตสาหกรรมการผลิต เช่น ชิปเซมิคอนดักเตอร์ จอแสดงผลแบบแบน เส้นใยนำแสง เซลล์แสงอาทิตย์ เป็นต้น

เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบอื่นๆ ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์มีข้อดีคือทำปฏิกิริยาได้เร็วและมีประสิทธิภาพสูง โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการกัดเซาะวัสดุที่มีซิลิคอนเป็นส่วนประกอบ เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ มันมีอัตราการกัดเซาะและความเลือกสรรสูง ไม่ทิ้งสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่ถูกกัดเซาะ และยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมาก ไม่ก่อให้เกิดมลพิษต่อพื้นผิว และสามารถตอบสนองความต้องการของกระบวนการผลิตได้