ปริมาณก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่ใหญ่ที่สุด - ไนโตรเจน trifluoride NF3

อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และอุตสาหกรรมแผงของประเทศของเรารักษาระดับความเจริญรุ่งเรืองในระดับสูง ไนโตรเจน trifluoride ซึ่งเป็นก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่ขาดไม่ได้และใหญ่ที่สุดในการผลิตและการประมวลผลของแผงและเซมิคอนดักเตอร์มีพื้นที่ตลาดกว้าง

ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษที่มีฟลูออรีนที่ใช้กันทั่วไปรวมถึงซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6), Tungsten Hexafluoride (WF6)คาร์บอน tetrafluoride (CF4), trifluoromethane (CHF3), ไนโตรเจน trifluoride (NF3), hexafluoroethane (C2F6) และ Octafluoropropane (C3F8) Nitrogen trifluoride (NF3) ส่วนใหญ่ใช้เป็นแหล่งฟลูออรีนสำหรับเลเซอร์เคมีไฮโดรเจนฟลูออไรด์ฟลูออไรด์ด้วยเลเซอร์เคมีพลังงานสูง ส่วนที่มีประสิทธิภาพ (ประมาณ 25%) ของพลังงานปฏิกิริยาระหว่าง H2-O2 และ F2 สามารถปล่อยออกมาได้จากการแผ่รังสีเลเซอร์ดังนั้นเลเซอร์ HF-of Lasers จึงเป็นเลเซอร์ที่มีแนวโน้มมากที่สุดในหมู่เลเซอร์เคมี

ไนโตรเจน trifluoride เป็นก๊าซการแกะสลักพลาสมาที่ยอดเยี่ยมในอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์ สำหรับการแกะสลักซิลิกอนและซิลิกอนไนไตรด์ไนโตรเจน trifluoride มีอัตราการกัดกร่อนและการเลือกที่สูงกว่าคาร์บอน tetrafluoride และส่วนผสมของคาร์บอน tetrafluoride และออกซิเจนและไม่มีมลพิษต่อพื้นผิว โดยเฉพาะอย่างยิ่งในการแกะสลักของวัสดุวงจรรวมที่มีความหนาน้อยกว่า 1.5um ไนโตรเจน trifluoride มีอัตราการแกะสลักที่ยอดเยี่ยมและการเลือกที่ยอดเยี่ยมโดยไม่มีสารตกค้างบนพื้นผิวของวัตถุที่สลักและยังเป็นสารทำความสะอาดที่ดีมาก ด้วยการพัฒนานาโนเทคโนโลยีและการพัฒนาขนาดใหญ่ของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ความต้องการจะเพิ่มขึ้นทุกวัน

ในฐานะที่เป็นชนิดของก๊าซพิเศษที่มีฟลูออรีนไนโตรเจน trifluoride (NF3) เป็นผลิตภัณฑ์ก๊าซพิเศษอิเล็กทรอนิกส์ที่ใหญ่ที่สุดในตลาด มันเป็นความเฉื่อยทางเคมีที่อุณหภูมิห้องทำงานมากกว่าออกซิเจนมีเสถียรภาพมากกว่าฟลูออรีนและง่ายต่อการจัดการที่อุณหภูมิสูง

ไนโตรเจน trifluoride ส่วนใหญ่จะใช้เป็นสารทำความสะอาดในพลาสมาฟาสมาและการทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาซึ่งเหมาะสำหรับสนามผลิตเช่นชิปเซมิคอนดักเตอร์, จอแสดงผลแบน

เมื่อเปรียบเทียบกับก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนอื่น ๆ ไนโตรเจน trifluoride มีข้อดีของการตอบสนองอย่างรวดเร็วและประสิทธิภาพสูงโดยเฉพาะอย่างยิ่งในการแกะสลักของวัสดุที่มีซิลิคอนที่มีซิลิคอนเช่นซิลิกอนไนไตรด์มันมีอัตราการแกะสลักสูง กระบวนการ.