ไฮโดรเจนคลอไรด์ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซไม่มีสี มีกลิ่นฉุน สารละลายในน้ำของมันเรียกว่ากรดไฮโดรคลอริก ไฮโดรเจนคลอไรด์ละลายน้ำได้ดีมาก ที่อุณหภูมิ 0°C น้ำ 1 ส่วนสามารถละลายไฮโดรเจนคลอไรด์ได้ประมาณ 500 ส่วน

มีคุณสมบัติและลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ความบริสุทธิ์สูง

ความบริสุทธิ์ของเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์มีปริมาณสูงมาก โดยปกติจะอยู่ที่ระดับ ppm หรือต่ำกว่า เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสิ่งเจือปนใดๆ เข้าสู่กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

2. ความเฉื่อยชา

เป็นก๊าซเฉื่อยทางเคมีที่ไม่ทำปฏิกิริยากับสารอื่นๆ หลายชนิด ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

3. ความเสถียรสูง

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์โดยทั่วไปจะมีองค์ประกอบทางเคมีที่เสถียรเพื่อให้มั่นใจได้ถึงกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่เชื่อถือได้

ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานหลักของไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่:

1. การทำความสะอาดและเตรียมพื้นผิว

ในฐานะน้ำยาทำความสะอาดพื้นผิวที่มีประสิทธิภาพสูง เหมาะสำหรับงานด้านอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์ใช้เพื่อกำจัดออกไซด์และสิ่งเจือปนออกจากพื้นผิวของวัสดุรองรับ เพื่อให้มั่นใจในคุณภาพและความบริสุทธิ์ของชั้นหรือฟิล์มเอพิแท็กเซียล

2. สารช่วยส่งเสริมการเจริญเติบโตของเอพิเท็กเซียล

ใช้เป็นสารปรับสภาพพื้นผิวในกระบวนการเอพิแท็กเซียล ช่วยปรับปรุงคุณภาพของชั้นเอพิแท็กเซียล ปรับปรุงการจับคู่โครงสร้างผลึก และลดการเกิดข้อบกพร่องของโครงสร้างผลึก

3. การเตรียมพื้นผิวก่อนการเพาะเลี้ยง

ก่อนการเตรียมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์สามารถใช้ในการปรับสภาพพื้นผิวของวัสดุรองรับเพื่อสร้างฐานที่มั่นคง เพื่อเพิ่มการยึดเกาะระหว่างชั้นเอพิแท็กเซียลกับวัสดุรองรับ

4. สารช่วยในการตกตะกอน

ในกระบวนการตกตะกอนด้วยไอสารเคมี (CVD) หรือการตกตะกอนด้วยไอทางกายภาพ (PVD) สามารถใช้ไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์เป็นตัวกลางในการถ่ายโอนในสถานะแก๊สเพื่อเข้าร่วมในปฏิกิริยาการตกตะกอนของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ได้

5. สารนำส่งในสถานะแก๊ส

ในฐานะตัวเร่งปฏิกิริยาการถ่ายโอนในสถานะก๊าซ สารตั้งต้นที่เป็นก๊าซอื่นๆ จะถูกนำเข้าไปในห้องปฏิกิริยาเพื่อช่วยปรับอัตราการตกตะกอนและความสม่ำเสมอของวัสดุ

คุณลักษณะเหล่านี้ทำให้ได้ผลิตภัณฑ์อิเล็กทรอนิกส์ที่มีคุณภาพไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นสารตัวกลางสำคัญในการประมวลผลในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งมีผลกระทบอย่างมากต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย

นอกเหนือจากการใช้งานในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์แล้ว ไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ยังสามารถนำไปใช้ประโยชน์ได้หลากหลายในด้านอื่นๆ เช่น การเตรียมวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง เซลล์เชื้อเพลิง การเจริญเติบโตของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ การพิมพ์หินด้วยไอระเหย การวิเคราะห์วัสดุ และการวิจัยทางเคมี

โดยทั่วไป เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซอเนกประสงค์ที่มีความบริสุทธิ์สูง และมีการใช้งานหลากหลายนอกเหนือจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์