ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซที่ไม่มีสีที่มีกลิ่นฉุน สารละลายน้ำเรียกว่ากรดไฮโดรคลอริกหรือที่เรียกว่ากรดไฮโดรคลอริก ไฮโดรเจนคลอไรด์ละลายได้ในน้ำมาก ที่ 0 ° C น้ำ 1 ปริมาตรสามารถละลายได้ประมาณ 500 ปริมาตรไฮโดรเจนคลอไรด์

มันมีคุณสมบัติและลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ความบริสุทธิ์สูง

ความบริสุทธิ์ของเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์สูงมากโดยปกติจะอยู่ที่ PPM หรือระดับล่างเพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีการแนะนำสิ่งสกปรกในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

2. ความเฉื่อย

มันเป็นก๊าซเฉื่อยทางเคมีที่ไม่ทำปฏิกิริยากับสารอื่น ๆ อีกมากมายซึ่งสำคัญมากในการป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

3. ความเสถียรสูง

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์โดยทั่วไปมีเคมีที่มีเสถียรภาพเพื่อให้แน่ใจว่าการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่เชื่อถือได้

ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์การใช้งานหลักของไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่ :

1. การทำความสะอาดพื้นผิวและการเตรียมการ

ในฐานะที่เป็นน้ำยาทำความสะอาดพื้นผิวที่มีประสิทธิภาพเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์ใช้ในการลบออกไซด์และสิ่งสกปรกออกจากพื้นผิวพื้นผิวเพื่อให้แน่ใจว่าคุณภาพและความบริสุทธิ์ของชั้นหรือฟิล์ม epitaxial

2. ความช่วยเหลือการเติบโตของคนโง่

ใช้เป็นตัวแทนการรักษาพื้นผิวในกระบวนการ epitaxial ช่วยปรับปรุงคุณภาพของชั้น epitaxial ปรับปรุงการจับคู่ตาข่ายและลดการก่อตัวของข้อบกพร่องของตาข่าย

3. การปรับสภาพพื้นผิว

ก่อนการเตรียมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์สามารถใช้ในการรักษาพื้นผิวพื้นผิวเพื่อสร้างฐานที่มั่นคงเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างชั้น epitaxial และสารตั้งต้น

4. ตัวแทนเสริม

ในกระบวนการของการสะสมไอสารเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ไฮโดรเจนคลอไรด์ระดับอิเล็กทรอนิกส์สามารถใช้เป็นสื่อการถ่ายโอนเฟสก๊าซเพื่อเข้าร่วมในปฏิกิริยาการสะสมของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์

5. ตัวแทนถ่ายโอนเฟสแก๊สเฟส

ในฐานะตัวแทนการถ่ายโอนเฟสแก๊สเฟสสารตั้งต้นก๊าซอื่น ๆ จะถูกนำเข้าสู่ห้องปฏิกิริยาเพื่อช่วยปรับอัตราการสะสมและความสม่ำเสมอของวัสดุ

ลักษณะเหล่านี้ทำให้เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์ตัวแทนการประมวลผลที่สำคัญในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งมีผลกระทบสำคัญต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์สุดท้าย

นอกเหนือจากการใช้งานในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แล้วไฮโดรเจนคลอไรด์ระดับอิเล็กทรอนิกส์ยังสามารถค้นหาการใช้งานที่หลากหลายในพื้นที่อื่น ๆ รวมถึง: การเตรียมวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูงเซลล์เชื้อเพลิงการเจริญเติบโตของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์การพิมพ์หินเฟสไอน้ำการวิเคราะห์วัสดุการวิจัยทางเคมี

โดยทั่วไปเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซที่มีความบริสุทธิ์สูงและมีความหลากหลายที่มีการใช้งานที่หลากหลายนอกการผลิตเซมิคอนดักเตอร์