ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซไม่มีสี มีกลิ่นฉุน สารละลายในน้ำเรียกว่ากรดไฮโดรคลอริก หรือที่รู้จักกันในชื่อกรดไฮโดรคลอริก ไฮโดรเจนคลอไรด์ละลายน้ำได้ดี ที่อุณหภูมิ 0°C น้ำ 1 ปริมาตรสามารถละลายไฮโดรเจนคลอไรด์ได้ประมาณ 500 ปริมาตร

มีคุณสมบัติและลักษณะดังต่อไปนี้:

1. ความบริสุทธิ์สูง

ความบริสุทธิ์ของเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์มีค่าสูงมาก โดยปกติจะอยู่ที่ระดับ ppm หรือต่ำกว่า เพื่อให้แน่ใจว่าไม่มีสิ่งเจือปนใดๆ ถูกนำเข้าสู่กระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์

2. ความเฉื่อยชา

เป็นก๊าซเฉื่อยทางเคมีที่ไม่ทำปฏิกิริยากับสารอื่นมากนัก ซึ่งมีความสำคัญมากในการป้องกันการปนเปื้อนของวัสดุและอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

3. ความเสถียรสูง

เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์โดยทั่วไปจะมีเคมีที่เสถียรเพื่อให้มั่นใจถึงการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ที่เชื่อถือได้

ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์ การใช้งานหลักของไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ ได้แก่:

1. การทำความสะอาดและเตรียมพื้นผิว

เป็นเครื่องทำความสะอาดพื้นผิวที่มีประสิทธิภาพ เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์ใช้เพื่อขจัดออกไซด์และสิ่งเจือปนออกจากพื้นผิวของสารตั้งต้นเพื่อให้แน่ใจถึงคุณภาพและความบริสุทธิ์ของชั้นหรือฟิล์มเอพิแทกเซียล

2.สารช่วยการเจริญเติบโตแบบเอพิแทกเซียล

ใช้เป็นสารปรับสภาพพื้นผิวในกระบวนการเอพิแทกเซียล ช่วยปรับปรุงคุณภาพของชั้นเอพิแทกเซียล ปรับปรุงการจับคู่โครงตาข่าย และลดการเกิดข้อบกพร่องของโครงตาข่าย

3. การเตรียมพื้นผิวเบื้องต้น

ก่อนการเตรียมอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์สามารถใช้เพื่อปรับสภาพพื้นผิววัสดุพิมพ์เพื่อสร้างฐานที่มั่นคงเพื่อปรับปรุงการยึดเกาะระหว่างชั้นเอพิแทกเซียลและวัสดุพิมพ์

4. สารช่วยการสะสม

ในกระบวนการสะสมไอเคมี (CVD) หรือการสะสมไอทางกายภาพ (PVD) ไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์สามารถใช้เป็นตัวกลางถ่ายโอนเฟสก๊าซเพื่อเข้าร่วมในปฏิกิริยาการสะสมของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ได้

5. สารถ่ายโอนเฟสก๊าซ

ในฐานะตัวแทนถ่ายโอนสถานะก๊าซ สารตั้งต้นก๊าซอื่นๆ จะถูกนำเข้าไปในห้องปฏิกิริยาเพื่อช่วยปรับอัตราการสะสมและความสม่ำเสมอของวัสดุ

ลักษณะเหล่านี้ทำให้เกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์ตัวแทนการประมวลผลที่สำคัญในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ซึ่งมีผลกระทบสำคัญต่อประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือของอุปกรณ์ขั้นสุดท้าย

นอกเหนือจากการนำไปใช้ในการประมวลผลเซมิคอนดักเตอร์แล้ว ไฮโดรเจนคลอไรด์เกรดอิเล็กทรอนิกส์ยังสามารถนำไปใช้ประโยชน์ในด้านอื่นๆ ได้อีกมากมาย เช่น การเตรียมวัสดุที่มีความบริสุทธิ์สูง เซลล์เชื้อเพลิง การเจริญเติบโตของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ การพิมพ์หินเฟสไอ การวิเคราะห์วัสดุ และการวิจัยทางเคมี

โดยทั่วไปเกรดอิเล็กทรอนิกส์ไฮโดรเจนคลอไรด์เป็นก๊าซที่มีความอเนกประสงค์และมีความบริสุทธิ์สูงซึ่งมีการใช้งานที่หลากหลายนอกเหนือจากการผลิตเซมิคอนดักเตอร์