โบรอนไตรคลอไรด์ (BCL3)เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการแกะสลักแบบแห้งและการสะสมไอสารเคมี (CVD) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ มันเป็นก๊าซที่ไม่มีสีที่มีกลิ่นฉุนที่อุณหภูมิห้องและมีความไวต่ออากาศชื้นเพราะมันไฮโดรไลซ์เพื่อผลิตกรดไฮโดรคลอริกและกรดบอริก

การประยุกต์ใช้โบรอนไตรคลอไรด์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โบรอนไตรคลอไรด์ส่วนใหญ่จะใช้สำหรับการแกะสลักแบบแห้งของอลูมิเนียมและเป็นเจือปนเพื่อสร้างภูมิภาคประเภท P บนเวเฟอร์ซิลิคอน นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการแกะสลักวัสดุเช่น GAAS, SI, Aln และเป็นแหล่งโบรอนในแอปพลิเคชันเฉพาะบางอย่าง นอกจากนี้โบรอนไตรคลอไรด์ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในการแปรรูปโลหะอุตสาหกรรมแก้วการวิเคราะห์ทางเคมีและการวิจัยในห้องปฏิบัติการ

ความปลอดภัยของโบรอนไตรคลอไรด์

โบรอนไตรคลอไรด์มีการกัดกร่อนและเป็นพิษและอาจทำให้เกิดความเสียหายร้ายแรงต่อดวงตาและผิวหนัง มันไฮโดรไลซ์ในอากาศชื้นเพื่อปล่อยก๊าซไฮโดรเจนคลอไรด์ที่เป็นพิษ ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีมาตรการความปลอดภัยที่เหมาะสมเมื่อจัดการโบรอนไตรคลอไรด์รวมถึงการสวมใส่เสื้อผ้าป้องกันแว่นตาและอุปกรณ์ป้องกันระบบทางเดินหายใจและทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีการระบายอากาศดี