โบรอนไตรคลอไรด์ (BCl3)เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการกัดแห้งและการตกตะกอนไอสารเคมี (CVD) ในการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ เป็นก๊าซไม่มีสี มีกลิ่นฉุนแรงที่อุณหภูมิห้อง และไวต่ออากาศชื้นเนื่องจากจะเกิดปฏิกิริยาไฮโดรไลซิสให้กรดไฮโดรคลอริกและกรดบอริก

การประยุกต์ใช้โบรอนไตรคลอไรด์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โบรอนไตรคลอไรด์โดยส่วนใหญ่ใช้สำหรับการกัดเซาะแบบแห้งของอะลูมิเนียมและเป็นสารเจือปนเพื่อสร้างบริเวณชนิด P บนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน นอกจากนี้ยังสามารถใช้ในการกัดเซาะวัสดุต่างๆ เช่น GaAs, Si, AlN และเป็นแหล่งกำเนิดโบรอนในบางการใช้งานเฉพาะ ยิ่งไปกว่านั้น โบรอนไตรคลอไรด์ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการแปรรูปโลหะ อุตสาหกรรมแก้ว การวิเคราะห์ทางเคมี และการวิจัยในห้องปฏิบัติการ

ความปลอดภัยของโบรอนไตรคลอไรด์

โบรอนไตรคลอไรด์สารนี้มีฤทธิ์กัดกร่อนและเป็นพิษ และอาจก่อให้เกิดอันตรายร้ายแรงต่อดวงตาและผิวหนังได้ มันจะเกิดปฏิกิริยาไฮโดรไลซิสในอากาศชื้นและปล่อยก๊าซไฮโดรเจนคลอไรด์ที่เป็นพิษออกมา ดังนั้นจึงจำเป็นต้องใช้มาตรการความปลอดภัยที่เหมาะสมเมื่อทำการจัดการโบรอนไตรคลอไรด์ซึ่งรวมถึงการสวมใส่ชุดป้องกัน แว่นตา และอุปกรณ์ป้องกันระบบทางเดินหายใจ และการทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีการระบายอากาศที่ดี