โบรอนไตรคลอไรด์ (BCl3)เป็นสารประกอบอนินทรีย์ที่นิยมใช้ในกระบวนการกัดแห้งและการสะสมไอเคมี (CVD) ในการผลิตสารกึ่งตัวนำ เป็นก๊าซไม่มีสี มีกลิ่นฉุนรุนแรงที่อุณหภูมิห้อง และไวต่ออากาศชื้นเนื่องจากเกิดการไฮโดรไลซ์เพื่อผลิตกรดไฮโดรคลอริกและกรดบอริก

การประยุกต์ใช้โบรอนไตรคลอไรด์

ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์โบรอนไตรคลอไรด์ส่วนใหญ่ใช้สำหรับการกัดอะลูมิเนียมแบบแห้ง และเป็นสารเจือปนเพื่อสร้างบริเวณ P-type บนแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอน นอกจากนี้ยังสามารถใช้กัดวัสดุต่างๆ เช่น GaAs, Si, AlN และเป็นแหล่งโบรอนสำหรับการใช้งานเฉพาะทางบางประเภท นอกจากนี้ โบรอนไตรคลอไรด์ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในการแปรรูปโลหะ อุตสาหกรรมแก้ว การวิเคราะห์ทางเคมี และการวิจัยในห้องปฏิบัติการ

ความปลอดภัยของโบรอนไตรคลอไรด์

โบรอนไตรคลอไรด์มีฤทธิ์กัดกร่อนและเป็นพิษ และอาจก่อให้เกิดอันตรายร้ายแรงต่อดวงตาและผิวหนัง สารนี้จะสลายตัวในอากาศชื้นและปล่อยก๊าซไฮโดรเจนคลอไรด์ที่เป็นพิษออกมา ดังนั้นจึงจำเป็นต้องมีมาตรการความปลอดภัยที่เหมาะสมเมื่อใช้งานโบรอนไตรคลอไรด์รวมถึงการสวมชุดป้องกัน แว่นตา และอุปกรณ์ป้องกันระบบทางเดินหายใจ และการทำงานในสภาพแวดล้อมที่มีการระบายอากาศที่ดี