เกี่ยวกับอิเล็กทรอนิกส์ก๊าซพิเศษเป็นสาขาสำคัญของก๊าซพิเศษ พวกเขาเจาะเกือบทุกการเชื่อมโยงของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์และเป็นวัตถุดิบที่ขาดไม่ได้สำหรับการผลิตอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์เช่นวงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษ, อุปกรณ์แสดงผลแผงแบนและเซลล์แสงอาทิตย์

ในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์มีการใช้ก๊าซที่มีฟลูออรีนมาใช้กันอย่างแพร่หลาย ปัจจุบันในตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลกก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนมีสัดส่วนประมาณ 30% ของทั้งหมด ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบสำคัญของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษในด้านวัสดุสารสนเทศอิเล็กทรอนิกส์ พวกเขาส่วนใหญ่จะใช้เป็นสารทำความสะอาดและตัวแทนการแกะสลักและยังสามารถใช้เป็นสารเจือปนวัสดุที่สร้างภาพยนตร์ ฯลฯ ในบทความนี้ผู้เขียนจะพาคุณไปเข้าใจก๊าซที่มีฟลูออรีนทั่วไป

ต่อไปนี้เป็นก๊าซที่มีฟลูออรีนที่ใช้โดยทั่วไป

ไนโตรเจน trifluoride (NF3): ก๊าซที่ใช้ในการทำความสะอาดและกำจัดเงินฝากมักจะใช้สำหรับทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาและพื้นผิวอุปกรณ์

ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6): สารฟลูออไรด์ที่ใช้ในกระบวนการสะสมออกไซด์และเป็นก๊าซฉนวนสำหรับการเติมสื่อฉนวน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF): ใช้ในการกำจัดออกไซด์ออกจากพื้นผิวซิลิกอนและเป็น etchant สำหรับการกัดซิลิคอนและวัสดุอื่น ๆ

ไนโตรเจนฟลูออไรด์ (NF): ใช้ในการกัดวัสดุเช่นซิลิกอนไนไตรด์ (SIN) และอลูมิเนียมไนไตรด์ (ALN)

Trifluoromethane (CHF3) และTetrafluoromethane (CF4): ใช้ในการแกะสลักวัสดุฟลูออไรด์เช่นฟลูออไรด์ซิลิกอนและฟลูออไรด์อลูมิเนียม

อย่างไรก็ตามก๊าซที่มีฟลูออรีนมีอันตรายบางอย่างรวมถึงความเป็นพิษการกัดกร่อนและการติดไฟ

ความเป็นพิษ

ก๊าซที่มีฟลูออรีนบางชนิดเป็นพิษเช่นไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF) ซึ่งไอมีการระคายเคืองต่อผิวหนังและระบบทางเดินหายใจและเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

การกัดกร่อน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์และฟลูออไรด์บางชนิดมีการกัดกร่อนสูงและอาจทำให้เกิดความเสียหายร้ายแรงต่อผิวหนังดวงตาและระบบทางเดินหายใจ

ความติดไฟได้

ฟลูออไรด์บางชนิดจะไวไฟและทำปฏิกิริยากับออกซิเจนหรือน้ำในอากาศเพื่อปล่อยความร้อนที่รุนแรงและก๊าซพิษซึ่งอาจทำให้เกิดไฟไหม้หรือระเบิด

อันตรายแรงดันสูง

ก๊าซฟลูออไรด์บางชนิดระเบิดภายใต้แรงดันสูงและต้องการการดูแลเป็นพิเศษเมื่อใช้และเก็บไว้

ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม

ก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีอายุการใช้งานในบรรยากาศสูงและค่า GWP ซึ่งมีผลทำลายล้างในชั้นโอโซนในบรรยากาศและอาจทำให้เกิดภาวะโลกร้อนและมลพิษต่อสิ่งแวดล้อม

การประยุกต์ใช้ก๊าซในทุ่งเกิดใหม่เช่นอุปกรณ์อิเล็กทรอนิกส์ยังคงลึกซึ้งยิ่งขึ้นทำให้มีความต้องการใหม่จำนวนมากสำหรับก๊าซอุตสาหกรรม ขึ้นอยู่กับกำลังการผลิตจำนวนมากของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่สำคัญเช่นเซมิคอนดักเตอร์และแผงแสดงในจีนแผ่นดินใหญ่ในอีกไม่กี่ปีข้างหน้ารวมถึงความต้องการที่แข็งแกร่งสำหรับการนำเข้าสารเคมีอิเล็กทรอนิกส์อุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจะมีอัตราการเติบโตสูง