อิเล็กทรอนิกส์ก๊าซพิเศษก๊าซเหล่านี้เป็นสาขาสำคัญของก๊าซพิเศษ พวกมันแทรกซึมอยู่ในเกือบทุกขั้นตอนของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และเป็นวัตถุดิบที่ขาดไม่ได้สำหรับการผลิตในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เช่น วงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษ อุปกรณ์แสดงผลแบบแบน และเซลล์แสงอาทิตย์

ในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ ก๊าซที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบถูกนำมาใช้กันอย่างแพร่หลาย ปัจจุบันในตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลก ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบคิดเป็นสัดส่วนประมาณ 30% ของทั้งหมด ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบเป็นองค์ประกอบสำคัญของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์พิเศษในด้านวัสดุข้อมูลอิเล็กทรอนิกส์ โดยส่วนใหญ่ใช้เป็นสารทำความสะอาดและสารกัดกร่อน และยังสามารถใช้เป็นสารเจือปน วัสดุขึ้นรูปฟิล์ม ฯลฯ ในบทความนี้ ผู้เขียนจะพาคุณไปทำความเข้าใจเกี่ยวกับก๊าซที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบที่พบได้ทั่วไป

ต่อไปนี้คือก๊าซที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบซึ่งนิยมใช้กันทั่วไป

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3): ก๊าซที่ใช้สำหรับทำความสะอาดและขจัดคราบสะสม โดยทั่วไปใช้สำหรับทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาและพื้นผิวอุปกรณ์

ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6): สารฟลูออริเนตที่ใช้ในกระบวนการตกตะกอนของออกไซด์และเป็นก๊าซฉนวนสำหรับเติมในวัสดุฉนวน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF): ใช้ในการกำจัดออกไซด์ออกจากพื้นผิวซิลิคอน และใช้เป็นสารกัดกร่อนสำหรับกัดซิลิคอนและวัสดุอื่นๆ

ไนโตรเจนฟลูออไรด์ (NF): ใช้ในการกัดเซาะวัสดุ เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ (SiN) และอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)

ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3) และเตตระฟลูออโรมีเทน (CF4): ใช้สำหรับกัดเซาะวัสดุฟลูออไรด์ เช่น ซิลิคอนฟลูออไรด์และอะลูมิเนียมฟลูออไรด์

อย่างไรก็ตาม ก๊าซที่มีฟลูออรีนเป็นส่วนประกอบมีอันตรายบางประการ ได้แก่ ความเป็นพิษ การกัดกร่อน และความไวไฟ

ความเป็นพิษ

ก๊าซที่มีฟลูออรีนบางชนิดเป็นพิษ เช่น ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF) ซึ่งไอระเหยของมันระคายเคืองต่อผิวหนังและระบบทางเดินหายใจอย่างรุนแรง และเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

ความกัดกร่อน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์และฟลูออไรด์บางชนิดมีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและอาจก่อให้เกิดอันตรายร้ายแรงต่อผิวหนัง ดวงตา และระบบทางเดินหายใจ

ความไวไฟ

ฟลูออไรด์บางชนิดติดไฟได้และทำปฏิกิริยากับออกซิเจนหรือน้ำในอากาศ ทำให้เกิดความร้อนสูงและก๊าซพิษ ซึ่งอาจก่อให้เกิดไฟไหม้หรือระเบิดได้

อันตรายจากแรงดันสูง

ก๊าซฟลูออริเนตบางชนิดอาจระเบิดได้ภายใต้ความดันสูง และต้องใช้และจัดเก็บด้วยความระมัดระวังเป็นพิเศษ

ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม

ก๊าซที่มีฟลูออรีนเป็นองค์ประกอบมีอายุการคงอยู่ในชั้นบรรยากาศสูงและมีค่า GWP สูง ซึ่งส่งผลเสียต่อชั้นโอโซนในชั้นบรรยากาศและอาจก่อให้เกิดภาวะโลกร้อนและมลภาวะทางสิ่งแวดล้อม

การประยุกต์ใช้ก๊าซในสาขาเกิดใหม่ เช่น อิเล็กทรอนิกส์ ยังคงพัฒนาอย่างต่อเนื่อง ส่งผลให้มีความต้องการก๊าซอุตสาหกรรมเพิ่มขึ้นอย่างมาก จากกำลังการผลิตชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์ที่สำคัญ เช่น เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผลในจีนแผ่นดินใหญ่ที่จะเพิ่มขึ้นอย่างมากในอีกไม่กี่ปีข้างหน้า รวมถึงความต้องการทดแทนการนำเข้าวัสดุเคมีอิเล็กทรอนิกส์ที่แข็งแกร่ง อุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจึงมีแนวโน้มที่จะเติบโตอย่างรวดเร็ว