อิเล็กทรอนิกส์ก๊าซพิเศษเป็นสาขาสำคัญของก๊าซพิเศษ โดยเจาะลึกเกือบทุกจุดเชื่อมต่อของการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ และเป็นวัตถุดิบที่ขาดไม่ได้สำหรับการผลิตของอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เช่น วงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษ อุปกรณ์จอแบน และเซลล์แสงอาทิตย์

ในเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ มีการใช้ก๊าซที่มีฟลูออรีนกันอย่างแพร่หลาย ปัจจุบันในตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลก ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่มีฟลูออรีนมีสัดส่วนประมาณ 30% ของทั้งหมด ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่ประกอบด้วยฟลูออรีนเป็นองค์ประกอบสำคัญของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษในด้านวัสดุข้อมูลอิเล็กทรอนิกส์ ส่วนใหญ่จะใช้เป็นสารทำความสะอาดและสารกัดกร่อน และยังสามารถใช้เป็นสารเจือปน วัสดุที่ก่อให้เกิดฟิล์ม ฯลฯ ในบทความนี้ ผู้เขียนจะพาคุณไปทำความเข้าใจกับก๊าซทั่วไปที่มีฟลูออรีน

ต่อไปนี้เป็นก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนที่ใช้กันทั่วไป

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3): ก๊าซที่ใช้ในการทำความสะอาดและขจัดคราบสกปรก มักใช้สำหรับทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาและพื้นผิวอุปกรณ์

ซัลเฟอร์เฮกซาฟลูออไรด์ (SF6): สารฟลูออริเนติงที่ใช้ในกระบวนการสะสมออกไซด์และเป็นก๊าซฉนวนสำหรับเติมตัวกลางที่เป็นฉนวน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF): ใช้เพื่อขจัดออกไซด์ออกจากพื้นผิวซิลิกอนและเป็นสารกัดกร่อนสำหรับการกัดซิลิกอนและวัสดุอื่นๆ

ไนโตรเจนฟลูออไรด์ (NF): ใช้ในการกัดวัสดุ เช่น ซิลิคอนไนไตรด์ (SiN) และอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)

ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3) และเตตราฟลูออโรมีเทน (CF4): ใช้ในการกัดวัสดุฟลูออไรด์ เช่น ซิลิคอนฟลูออไรด์ และอะลูมิเนียมฟลูออไรด์

อย่างไรก็ตาม ก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีอันตรายบางประการ เช่น ความเป็นพิษ การกัดกร่อน และการติดไฟได้

ความเป็นพิษ

ก๊าซที่มีฟลูออรีนบางชนิดเป็นพิษ เช่น ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF) ซึ่งมีไอระเหยที่ระคายเคืองต่อผิวหนังและทางเดินหายใจอย่างมาก และเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

การกัดกร่อน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์และฟลูออไรด์บางชนิดมีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและอาจก่อให้เกิดความเสียหายร้ายแรงต่อผิวหนัง ดวงตา และทางเดินหายใจ

ความไวไฟ

ฟลูออไรด์บางชนิดติดไฟได้และทำปฏิกิริยากับออกซิเจนหรือน้ำในอากาศเพื่อปล่อยความร้อนสูงและก๊าซพิษ ซึ่งอาจทำให้เกิดเพลิงไหม้หรือการระเบิดได้

อันตรายจากแรงดันสูง

ก๊าซฟลูออริเนตบางชนิดอาจระเบิดได้ภายใต้แรงดันสูง และจำเป็นต้องได้รับการดูแลเป็นพิเศษเมื่อใช้และจัดเก็บ

ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม

ก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีอายุขัยในชั้นบรรยากาศและค่า GWP สูง ซึ่งมีผลกระทบในการทำลายชั้นโอโซนในบรรยากาศ และอาจทำให้เกิดภาวะโลกร้อนและมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อม

การใช้ก๊าซในสาขาเกิดใหม่ เช่น อิเล็กทรอนิกส์ ยังคงเพิ่มมากขึ้น ทำให้เกิดความต้องการก๊าซอุตสาหกรรมใหม่ๆ จำนวนมาก จากกำลังการผลิตใหม่จำนวนมากของชิ้นส่วนอิเล็กทรอนิกส์หลัก เช่น เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผลในจีนแผ่นดินใหญ่ในอีกไม่กี่ปีข้างหน้า เช่นเดียวกับความต้องการที่แข็งแกร่งในการทดแทนการนำเข้าวัสดุเคมีอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ในประเทศจะเปิดตัว อัตราการเติบโตสูง