อิเล็กทรอนิกส์ก๊าซพิเศษเป็นสาขาสำคัญของก๊าซพิเศษ ก๊าซเหล่านี้แทรกซึมเข้าสู่เกือบทุกขั้นตอนของการผลิตสารกึ่งตัวนำ และเป็นวัตถุดิบที่จำเป็นสำหรับการผลิตในอุตสาหกรรมอิเล็กทรอนิกส์ เช่น วงจรรวมขนาดใหญ่พิเศษ อุปกรณ์จอแสดงผลแบบจอแบน และเซลล์แสงอาทิตย์

ในเทคโนโลยีสารกึ่งตัวนำ ก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลาย ปัจจุบันในตลาดก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั่วโลก ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีสัดส่วนประมาณ 30% ของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ทั้งหมด ก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ที่ประกอบด้วยฟลูออรีนเป็นองค์ประกอบสำคัญของก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ชนิดพิเศษในด้านวัสดุสารสนเทศอิเล็กทรอนิกส์ ส่วนใหญ่ใช้เป็นสารทำความสะอาดและสารกัดกร่อน นอกจากนี้ยังสามารถใช้เป็นสารเจือปน วัสดุสร้างฟิล์ม และอื่นๆ บทความนี้จะพาคุณไปทำความเข้าใจเกี่ยวกับก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนโดยทั่วไป

ต่อไปนี้เป็นก๊าซที่มีฟลูออรีนซึ่งใช้กันทั่วไป

ไนโตรเจนไตรฟลูออไรด์ (NF3): ก๊าซที่ใช้ในการทำความสะอาดและขจัดคราบสกปรก โดยทั่วไปใช้สำหรับทำความสะอาดห้องปฏิกิริยาและพื้นผิวอุปกรณ์

ซัลเฟอร์เฮกซะฟลูออไรด์ (SF6):สารฟลูออรีนที่ใช้ในกระบวนการสะสมออกไซด์และเป็นก๊าซฉนวนสำหรับเติมในสื่อฉนวน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF): ใช้ในการกำจัดออกไซด์ออกจากพื้นผิวซิลิกอน และเป็นสารกัดกร่อนสำหรับกัดซิลิกอนและวัสดุอื่นๆ

ไนโตรเจนฟลูออไรด์ (NF): ใช้ในการกัดวัสดุ เช่น ซิลิกอนไนไตรด์ (SiN) และอะลูมิเนียมไนไตรด์ (AlN)

ไตรฟลูออโรมีเทน (CHF3) และเตตระฟลูออโรมีเทน (CF4):ใช้ในการกัดวัสดุฟลูออไรด์ เช่น ซิลิกอนฟลูออไรด์ และอะลูมิเนียมฟลูออไรด์

อย่างไรก็ตาม ก๊าซที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีความเป็นอันตรายบางประการ เช่น ความเป็นพิษ การกัดกร่อน และการติดไฟ

ความเป็นพิษ

ก๊าซบางชนิดที่ประกอบด้วยฟลูออรีนมีพิษ เช่น ไฮโดรเจนฟลูออไรด์ (HF) ซึ่งไอระเหยจะระคายเคืองต่อผิวหนังและทางเดินหายใจอย่างมาก และเป็นอันตรายต่อสุขภาพของมนุษย์

การกัดกร่อน

ไฮโดรเจนฟลูออไรด์และฟลูออไรด์บางชนิดมีฤทธิ์กัดกร่อนสูงและสามารถก่อให้เกิดความเสียหายร้ายแรงต่อผิวหนัง ดวงตา และทางเดินหายใจได้

ความไวไฟ

ฟลูออไรด์บางชนิดติดไฟได้และทำปฏิกิริยากับออกซิเจนหรือน้ำในอากาศจนเกิดความร้อนสูงและก๊าซพิษ ซึ่งอาจทำให้เกิดไฟไหม้หรือระเบิดได้

อันตรายจากแรงดันสูง

ก๊าซฟลูออไรด์บางชนิดสามารถระเบิดได้ภายใต้แรงดันสูง และต้องใช้ความระมัดระวังเป็นพิเศษเมื่อใช้และจัดเก็บ

ผลกระทบต่อสิ่งแวดล้อม

ก๊าซที่มีฟลูออรีนมีอายุในชั้นบรรยากาศและค่า GWP สูง ซึ่งส่งผลทำลายชั้นโอโซนในบรรยากาศและอาจทำให้เกิดภาวะโลกร้อนและมลภาวะต่อสิ่งแวดล้อม

การประยุกต์ใช้ก๊าซในสาขาใหม่ เช่น อิเล็กทรอนิกส์ ยังคงเติบโตอย่างต่อเนื่อง ส่งผลให้ความต้องการก๊าซอุตสาหกรรมเพิ่มขึ้นอย่างมาก ด้วยกำลังการผลิตใหม่จำนวนมากของส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์หลัก เช่น เซมิคอนดักเตอร์และแผงจอแสดงผลในจีนแผ่นดินใหญ่ในอีกไม่กี่ปีข้างหน้า ประกอบกับความต้องการที่เพิ่มขึ้นอย่างมากในการทดแทนการนำเข้าวัสดุเคมีอิเล็กทรอนิกส์ อุตสาหกรรมก๊าซอิเล็กทรอนิกส์ภายในประเทศจะเติบโตอย่างรวดเร็ว